[发明专利]划线装置以及控制方法在审
申请号: | 202010161708.0 | 申请日: | 2020-03-10 |
公开(公告)号: | CN111847856A | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 井村淳史 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业股份有限公司 |
主分类号: | C03B33/027 | 分类号: | C03B33/027;C03B33/10 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 张晶;刘言 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 划线 装置 以及 控制 方法 | ||
1.一种划线装置,其具备:
切割部件,其在作为加工对象的基板上形成划分线;
第一移动机构,其使所述基板沿第一方向移动;
第二移动机构,其使所述切割部件沿垂直于所述第一方向的第二方向移动;
第三移动机构,其使所述切割部件沿垂直于所述第一方向及所述第二方向的第三方向移动;
转动机构,其使所述切割部件绕沿所述第三方向延伸的轴转动;
第一控制装置,其计算所述切割部件的预定加工轨迹,并基于所述预定加工轨迹控制所述第一移动机构;以及
第二控制装置,其基于所述预定加工轨迹控制所述第二移动机构、所述第三移动机构、以及所述转动机构。
2.根据权利要求1所述的划线装置,其特征在于,
所述第一控制装置计算所述预定加工轨迹作为假想坐标上的所述切割部件的位置及旋转角,其中,所述假想坐标至少具有与所述第一方向对应的第一假想轴、以及与第二方向对应的第二假想轴。
3.根据权利要求2所述的划线装置,其特征在于,
所述第一控制装置在所述第一假想轴的坐标值上加上所述假想坐标的原点与所述基板的原点在所述第一方向上的偏移量,而计算所述第一方向上的所述切割部件的实际位置,
所述第二控制装置在所述第二假想轴的坐标值上加上所述假想坐标的原点与所述基板的原点在所述第二方向上的偏移量,而计算所述第二方向上的所述切割部件的实际位置,并将所述假想坐标上的所述切割部件的旋转角作为实际的旋转角。
4.一种控制方法,其为划线装置的控制方法,所述划线装置具备:
切割部件,其在作为加工对象的基板上形成划分线;第一移动机构,其使所述基板沿第一方向移动;第二移动机构,其使所述切割部件沿垂直于所述第一方向的第二方向移动;第三移动机构,其使所述切割部件沿垂直于所述第一方向及所述第二方向的第三方向移动;转动机构,其使所述切割部件绕沿所述第三方向延伸的轴转动;第一控制装置;以及第二控制装置,
其中,所述控制方法具备以下步骤:
所述第一控制装置计算所述切割部件的预定加工轨迹;
所述第一控制装置基于所述预定加工轨迹控制所述第一移动机构;
所述第二控制装置基于所述预定加工轨迹控制所述第二移动机构、所述第三移动机构、以及所述转动机构。
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