[发明专利]柔性显示器制造用一批膜分离及检查装置

说明书

本发明涉及一种柔性显示器制造用一次性分离及检查装置，其特征在于，包括：主导轨(1)，在所述主导轨(1)上行驶上部转移装置；上部转移装置(2)，所述上部转移装置(2)吸附附着于传送玻璃基板上的柔性膜而行驶在主导轨(1)上且在位于其下部的切割部、废基板排出部、光学检查部之间依次反复移动；切割部(3)，分离附着于被移送的传送玻璃基板上的柔性膜；下部转移装置(4)，吸附传送玻璃基板而行驶至废基板排出部；废基板排出部(5)，吸附传送玻璃基板而进行排出；及光学检查部(6)，在柔性膜通过上部转移装置(2)下降而被吸附支撑于膜吸附部(7)的状态下，所述光学检查部(6)前进或后退的同时进行检查。

技术领域

本发明涉及一种柔性显示器制造用一批膜分离及检查装置。更具体地，涉及一种在切割部分离形成有附着于传送玻璃基板上的OLED+TFT层的柔性膜，且在光学检查部(Auto Optical inspection，自动光学检查)一次性检查从传送玻璃基板分离的塑胶膜的装置。

背景技术

近来，作为TV或移动设备中最广泛使用的显示器，多使用LCD和OLED。OLED是能够自发光的元件，因此与需要作为另外光源的背光灯的LCD相比，能够减少显示材料的种类和厚度，因此其使用正在逐渐增加。

另一方面，作为以往OLED方式显示器的基板使用玻璃，从而在经过多个步骤的工艺的情形下在玻璃基板表面形成OLED+TFT层。

经过这样的制造工艺的OLED显示器由于使用玻璃基板，因此存在难以制造柔性曲率型显示器的构造性限制。

近来，以解决这些基于玻璃基板的构造性问题的同时创造新的需求为目的，在公开或发布柔性OLED等的产品作为新的形状因数(Form factor)。

大略看一下柔性OLED显示器的制造工艺，则使用诸如聚酰亚胺的塑料膜材料作为柔性基板使用，且其在玻璃基板等的传送基板上形成聚酰亚胺或诸如此类的柔性塑料膜层，之后，当柔性塑料膜层硬化时，通过后续工艺在其上形成OLED+TFT层。之后，经过以下工艺，即利用激光去除除了传送玻璃基板和塑料膜之间的周边的部分且利用切割装置分离周边的工艺。之后，被分离的塑料膜经过在光学检查装置(AOI，AutoOptical inspection，自动光学检查)检查是否存在异物和表面上的缺陷部位而检查是否存在不良品的工艺。

但是，就如上所述的用于以往的柔性OLED显示器的制造工艺的装置而言，由于切割装置和光学检查装置是分别构成于另外的地点的单独装置，因此当在切割装置切割传送玻璃基板和膜而进行分离后向光学检查装置移动的过程中，存在异物可能附着于被分离的膜上的问题。

另外，由于当在一地点的切割装置完成膜分离操作时，经过再次将分离的膜传送至配置于另一地点的检查装置的作业而进行检查，因此存在整个工作线延长的同时空间利用度也下降的问题。

另外，由于非连续地构成在传送玻璃基板上分离膜，再次检查被分离的膜的工艺，因此存在工艺时间增加而生产性降低的问题。

现有技术文献

非专利文献

(专利文件0001)韩国公开专利公报公开号10-2018-0022103号(2018.03.06。)

(专利文件0002)韩国公开专利公报公开号10-2018-0132008(2018.12.11。)

(专利文件0003)韩国公开专利公报公开号10-2014-0119938(2014.10.13。)

(专利文件0004)韩国公开专利公报公开号10-2017-0015805(2017.02.09。)

发明内容

要解决的问题