[发明专利]一种抑制激光散斑的积分球光源装置有效
申请号: | 202010147682.4 | 申请日: | 2020-03-05 |
公开(公告)号: | CN111238640B | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 韦跃峰;刘磊;蔺超;郑玉权 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01J3/10 | 分类号: | G01J3/10;G01J3/02 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 胡素莉 |
地址: | 130033 吉林省长春市*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 抑制 激光 积分 光源 装置 | ||
1.一种抑制激光散斑的积分球光源装置,其特征在于,包括固定支架(1)、通过柔性连接件可晃动的安装于所述固定支架(1)上的积分球(3)、以及固定于所述固定支架(1)上并用于向所述积分球(3)的入光口(10)射入激光的激光光纤(6),所述积分球(3)的外壁上设有用于驱动所述积分球(3)相对所述固定支架(1)振动的第一振动装置;
所述固定支架(1)包括用于固定所述积分球(3)的积分球支架(5)以及用于固定所述激光光纤(6)的光纤支架(7),且所述激光光纤(6)与所述积分球(3)不接触;
所述柔性连接件为柔性连接环(4),所述柔性连接环(4)包括环部(41)以及均匀分布于所述环部(41)外侧的环耳(42),所述环部(41)通过螺栓连接于所述积分球(3)的法兰上,所述环耳(42)通过螺栓连接于所述固定支架(1)上。
2.根据权利要求1所述的抑制激光散斑的积分球光源装置,其特征在于,所述柔性连接环(4)为薄片金属环。
3.根据权利要求1所述的抑制激光散斑的积分球光源装置,其特征在于,所述柔性连接环(4)为硅胶环或橡胶环。
4.根据权利要求1所述的抑制激光散斑的积分球光源装置,其特征在于,所述柔性连接件为弹簧、碟簧或机械柔节。
5.根据权利要求1所述的抑制激光散斑的积分球光源装置,其特征在于,所述积分球(3)包括加工有入光口(10)与出光口(2)的第一半球以及加工有用于安装所述第一振动装置的安装座(8)的第二半球,所述第一振动装置通过安装座(8)连接于所述积分球(3)。
6.根据权利要求5所述的抑制激光散斑的积分球光源装置,其特征在于,所述第一振动装置包括微型振动马达(9)以及偏心轮,所述微型振动马达(9)带动所述偏心轮转动以使所述积分球(3)相对所述固定支架(1)产生振动。
7.根据权利要求5所述的抑制激光散斑的积分球光源装置,其特征在于,所述第一振动装置包括压电陶瓷。
8.根据权利要求1至7任一项所述的抑制激光散斑的积分球光源装置,其特征在于,所述光纤支架(7)为固定于所述固定支架(1)上的柔性支架,所述柔性支架上安装有用于驱动所述柔性支架相对固定支架(1)振动的第二振动装置。
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