[发明专利]一种清洗蓝宝石晶片表面的方法

权利要求书

1.一种清洗蓝宝石晶片表面的方法，在进行清洗时，包括以下步骤：

步骤1：先将蓝宝石晶片放置电子级硫酸和纯水的混合液中，且硫酸与纯水按照重量份数进行配比飞比例为：硫酸5份：纯水1份的比例进行制配，使用石英槽，在石英槽的内部加入300毫升的双氧水，并将硫酸与纯水的混合溶液及蓝宝石晶片置于双氧水中，并将石英槽加热至115摄氏度，使蓝宝石晶片静止浸泡20分钟；

步骤2：将浸泡20分钟的蓝宝石晶片从石英槽的内部取出，并转入到快排冲洗槽的内部，进行循环冲洗一次，将蓝宝石晶片上的硫酸进行冲洗掉，进而避免硫酸对下一步清洗带来影响，造成清洗能力下降；

步骤3：将在快排冲洗槽内进行冲洗循环一次后的蓝宝石晶片放入到氨水、双氧水及纯水的混合液中，且氨水、双氧水及纯水按重量份数进行配比的比例为，氨水1份：双氧水1份：纯水8份，并将蓝宝石晶片及氨水、双氧水及纯水的混合溶液置于石英槽的内部，将石英槽加热至70摄氏度，并开启石英槽的超声波功能，使得氨水、双氧水及纯水的混合溶液在超声波的作用下，对蓝宝石晶片进行清洗浸泡15分钟；

步骤4：将在超声波功能下清洗浸泡15分钟后的蓝宝石晶片取出，并置于快排冲洗槽内，并进行冲洗循环4次，冲洗掉蓝宝石晶片的外表面上残留的氨水、双氧水及纯水的混合溶液，并对蓝宝石晶片的外表面进行彻底的冲洗；

步骤5：将在快排冲洗槽内进行循环冲洗4次的蓝宝石晶片取出，并置于旋干机中，使得旋干机带动蓝宝石晶片快速转动，进而旋干掉蓝宝石晶片外表面上多余的水分，并且在旋干机转动时，加入HN2使得蓝宝石晶片可以得到快速干燥；

通过步骤1的预处理，且经过步骤2、步骤3和步骤4的清洗处理以及经过步骤5的干燥处理，进而使得蓝宝石晶片的外表面清洗的更加洁净，且不会对蓝宝石晶片的外表面产生损害。

2.根据权利要求1所述的一种清洗蓝宝石晶片表面的方法，其特征在于：在步骤1中，在石英槽设备作业时，每次进行浸泡时，均需要补充300毫升的双氧水，且在石英槽设备作业时，设备每静置30分钟未用时，均需要补加一次双氧水，且每次补加的双氧水为150毫升，进而保证石英槽内部溶液的洗净能力。

3.根据权利要求1所述的一种清洗蓝宝石晶片表面的方法，其特征在于：在步骤2中使用快排冲洗槽进行循环冲洗时，其在快排冲洗槽内的冲洗步骤为：

步骤2-1：开启快排冲洗槽，使得快排冲洗槽进行下给水和开启N2气泡，开启5秒；

步骤2-2：开启快排冲洗槽，使得快排冲洗槽进行上给水和快排水，并开启10秒；

步骤2-3：开启快排冲洗槽，使得快排冲洗槽进行上给水、下给水和N2气泡，开启时间为35秒；

将步骤2-1、步骤2-2和步骤2-3进行循环一次，进而使得蓝宝石晶片表面上的硫酸进行冲洗，避免硫酸对下一步清洗带来影响，造成清洗能力下降。

4.根据权利要求1所述的一种清洗蓝宝石晶片表面的方法，其特征在于：在步骤4中使用快排冲洗槽进行循环冲洗时的步骤为：

步骤4-1：开启快排冲洗槽，使得快排冲洗槽进行下给水和开启N2气泡，开启5秒；

步骤4-2：开启快排冲洗槽，使得快排冲洗槽进行上给水和快排水，并开启10秒；

步骤4-3：开启快排冲洗槽，使得快排冲洗槽进行上给水、下给水和N2气泡，开启时间为35秒；

将步骤4-1、步骤4-2和步骤4-3进行循环四次，进而冲洗掉蓝宝石晶片的外表面上残留的氨水、双氧水及纯水的混合溶液，并对蓝宝石晶片的外表面进行彻底的冲洗。