[发明专利]一种两边位置可控的狭缝装置及其控制方法

说明书

本发明公开了一种两边位置可控的狭缝装置，所述的狭缝装置包括基体；所述基体的上侧固定连接有导轨，导轨上安装有沿导轨滑动的左狭缝刀片组件和右狭缝刀片组件，所述的左狭缝刀片组件和右狭缝刀片组件连接有用于刀片组件位移的相对作用组件；所述的左狭缝刀片组件和右狭缝刀片组件或相对作用组件与控制器信号连接；所述的左狭缝刀片组件和/或右狭缝刀片组件上安装有用于测量刀片位移的位移传感器组件和用于校准的对刀器，所述的位移传感器组件和对刀器与控制器信号连接。本发明实现了左狭缝刀片和右狭缝刀片都能独立调整位置；狭缝宽度和中心位置同时独立可调，而且可以实现缝宽和中心位置的数字化控制。

技术领域

本发明涉及光学仪器领域，具体涉及一种两边位置可控的狭缝装置及其控制方法。

背景技术

在光学仪器应用技术领域，狭缝指由一对隔板在光通路上形成的缝隙，它决定了入射光束光通量的大小。如果光学仪器要求出射光通量能根据需要进行调节，可调狭缝可以控制出射光束光通量。

狭缝开口的平行性、对称性、开闭的均匀性、狭缝宽度对狭缝的性能有重要的影响。目前的狭缝主要有以下几类：1.固定宽度狭缝。此类狭缝结构简单、成本低，狭缝宽度不可调节。2.采用丝杆调节狭缝宽度的单向或双向可调式狭缝。3.采用楔形滑块推动狭缝的两个刀片横向运动从而实现狭缝的宽度双向可调的调节方式。这种结构的缺点是狭缝开启精度较低、开口的对称性不高，并且在调节过程中两刀片稳定性较差，容易出现爬行、断续、卡死等现象。4.利用弹性铰链结构实现狭缝宽度双向调节。已有技术是中国科学技术大学于2009年度申请的发明专利，申请号为200910116537.3，发明名称为“缝宽可调节的小型精密狭缝装置”。缺点是弹性铰链体结构复杂，并且加工工艺性不好。

发明内容

针对上述的技术问题，本技术方案提供了一种两边位置可控的狭缝装置及其控制方法,能有效的解决上述问题。

本发明通过以下技术方案实现：

一种两边位置可控的狭缝装置，所述的狭缝装置包括基体、导轨、左狭缝刀片组件、右狭缝刀片组件、刀片位移相对作用组件和控制器；所述导轨、刀片位移相对作用组件及控制模块安装于基体上，左狭缝刀片组件和右狭缝刀片组件可沿导轨移动。

进一步的，所述基体的上侧安装有导轨，导轨上安装有沿导轨滑动的左狭缝刀片组件和右狭缝刀片组件，所述的左狭缝刀片组件和右狭缝刀片组件设置有用于刀片组件位移的相对作用组件；所述的左狭缝刀片组件和右狭缝刀片组件或相对作用组件与控制器信号连接；所述的左狭缝刀片组件和/或右狭缝刀片组件上安装有用于校准的对刀器，所述对刀器与控制器信号连接。

进一步的，所述的左狭缝刀片组件和右狭缝刀片组件或相对作用组件，以及对刀器与控制器电气相连；所述的控制器中设置有状态机、存储器、运算器、电源输入端口和信号输入输出部分；所述的信号输入输出部分采用有线输入端口，或无线数据收发模块。

进一步的，所述的对刀器设置有两个探头，所述的两个探头分别固定在左狭缝刀片组件和/或右狭缝刀片组件上；当两个探头分别固定在左狭缝刀片组件和右狭缝刀片组件上时，所述的两个探头用于检测两个刀片的参考零点位置；当两个探头同时固定在左狭缝刀片组件或右狭缝刀片组件上时，所述的两个探头中的一个用于检测刀片的参考零点位置，另一个用于检测另一刀片相对的零缝宽位置。

进一步的，所述对刀器的探头采用对刀电极，或基于应变的压力传感器或薄膜压力传感器的压力检测探针；所述对刀器的探头采用对刀电极时，对刀电极与基体、以及狭缝对到组件之间进行绝缘处理。当对刀器的探头采用电极时，校准件也采用电极；则电极和校准件导体接触，产生校准信号。

进一步的，所述的相对作用组件采用直线电机的定子，左狭缝刀片组件和右狭缝刀片组件中与直线电机定子的衔接处设置有直线电机动子。