[发明专利]透镜模块以及包括其的衬底切割装置

权利要求书

1.透镜模块，包括：

壳体构件；

第一透镜部，包括设置在所述壳体构件内的第一透镜和第二透镜；以及

第二透镜部，包括设置在所述壳体构件内的第三透镜和第四透镜，其中，所述第三透镜与所述第一透镜重叠，所述第四透镜与所述第二透镜重叠，

其中，所述壳体构件包括：

主体部，包括顶表面、底表面以及将所述顶表面和所述底表面彼此连接的侧表面，所述主体部限定第一内部空间和第二内部空间；

第一接纳部，在所述主体部的所述顶表面上，所述第一接纳部包括第一透镜接纳部和第二透镜接纳部，其中，所述第一透镜接纳部与所述第一内部空间重叠，并限定在其中设置所述第一透镜的第一通孔，所述第二透镜接纳部与所述第二内部空间重叠，并限定在其中设置所述第二透镜的第二通孔；以及

第二接纳部，在所述主体部的所述底表面上，所述第二接纳部包括第三透镜接纳部和第四透镜接纳部，其中，所述第三透镜接纳部支承所述第三透镜，并向外部暴露所述第三透镜，所述第四透镜接纳部支承所述第四透镜，并向外部暴露所述第四透镜，

其中，所述第三透镜和所述第四透镜彼此接触。

2.根据权利要求1所述的透镜模块，其中，

所述第三透镜包括与所述第三透镜接纳部重叠的第一区域以及不与所述第三透镜接纳部重叠的第二区域，以及

所述第四透镜包括与所述第四透镜接纳部重叠的第三区域以及不与所述第四透镜接纳部重叠的第四区域。

3.根据权利要求2所述的透镜模块，其中，所述第三透镜的所述第二区域与所述第四透镜的所述第四区域接触。

4.根据权利要求2所述的透镜模块，其中，在平面图中，所述第三透镜和所述第四透镜中的每个的面积比所述第一透镜和所述第二透镜中的每个的面积大。

5.根据权利要求1所述的透镜模块，其中，所述第三透镜和所述第四透镜中的每个的外表面包括具有弯曲形状的弯曲侧部和具有线性形状的直侧部，

其中，所述第三透镜的所述直侧部与所述第四透镜的所述直侧部接触。

6.根据权利要求1所述的透镜模块，其中，

在所述顶表面上限定有第一主体孔和第二主体孔，以及

在所述底表面上限定有第三主体孔和第四主体孔，所述第三主体孔与所述第一主体孔重叠，并且所述第四主体孔与所述第二主体孔重叠。

7.根据权利要求6所述的透镜模块，其中，在平面图中，所述第三主体孔和所述第四主体孔中的每个的面积比所述第一主体孔和所述第二主体孔中的每个的面积大。

8.根据权利要求1所述的透镜模块，其中，

所述第一透镜配置成接收来自第一光束生成器的第一光，以及

所述第二透镜配置成接收来自第二光束生成器的第二光。

9.根据权利要求8所述的透镜模块，其中，

所述第三透镜配置成将从所述第一透镜传输的所述第一光输出至衬底的面对所述第三透镜的第一切割目标区域，以及

所述第四透镜配置成将从所述第二透镜传输的所述第二光输出至所述衬底的面对所述第四透镜的第二切割目标区域。

10.根据权利要求9所述的透镜模块，其中，

所述第三透镜配置成在与所述衬底的厚度方向平行的一个方向上将所述第一光输出至所述第一切割目标区域，以及

所述第四透镜配置成在所述一个方向上将所述第二光输出至所述第二切割目标区域。

11.根据权利要求8所述的透镜模块，还包括：

第一扫描器，接收来自所述第一光束生成器的所述第一光，并调节向所述第一透镜传输的所述第一光的路径；以及

第二扫描器，接收来自所述第二光束生成器的所述第二光，并调节向所述第二透镜传输的所述第二光的路径。