[发明专利]缺陷分层检测装置及方法在审
申请号: | 202010127269.1 | 申请日: | 2020-02-28 |
公开(公告)号: | CN111272777A | 公开(公告)日: | 2020-06-12 |
发明(设计)人: | 赵斌;侯小华;杨洋;吴蕊彤;麦楚贰 | 申请(专利权)人: | 合肥市商巨智能装备有限公司;深圳商巨智能设备股份有限公司;深圳市商巨视觉技术有限公司 |
主分类号: | G01N21/958 | 分类号: | G01N21/958;G01N21/94;G01N21/88 |
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地址: | 230012 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 缺陷 分层 检测 装置 方法 | ||
本发明提供了缺陷分层检测装置及方法,该方法是采用相机组件在短波紫外线光源下拍摄检测对象的上、下面缺陷图像,并将上、下面缺陷图像分别与相机组件在自然光源下拍摄的检测对象的缺陷图像进行对比,判断检测对象的缺陷所在深度位置。本发明能够自动化区分液晶面板表面的缺陷和液晶面板内部的缺陷,实现表层灰尘过滤,提高检测效率。
技术领域
本发明涉及液晶面板缺陷检测设备技术领域,具体而言,涉及一种缺陷分层检测装置及方法。
背景技术
随着国家经济的发展,工业及民众对液晶面板的需求日益增加,对高质量液晶面板的要求也越来越大,液晶面板中带有缺陷会使液晶面板的各项性能降低,造成大量的废品和次品。因此,一套切实可用的液晶面板质量检测设备是非常必要的。
自动光学检测是液晶行业广泛使用的测量手段,而其中自动光学检测设备是液晶行业广泛使用的检测设备。液晶面板一般由盖板玻璃和多层薄膜构成,在加工过程中,液晶面板内部混入异物造成的缺陷,这种缺陷会导致次品产生。而盖板玻璃外部有些缺陷(比如:灰尘、脏污等)可以通过清洁去掉,并不影响品质。所以,缺陷分层检测具有巨大的价值。但是现有的自动光学检测设备通常无法有效区分缺陷位于液晶面板内部还是外部。因此,需要发明一种能够区分液晶面板表面缺陷和内部缺陷的装置和方法来解决上述问题。
发明内容
为解决上述缺陷,本发明提供了一种缺陷分层检测装置及方法,该装置能够自动化区分液晶面板表面的缺陷和液晶面板内部的缺陷,提高检测效率。
第一方面,本发明还提供一种缺陷分层检测的方法,所述缺陷分层检测的方法是采用相机组件在短波紫外线光源下拍摄透明的检测对象的上/下表面缺陷图像,并将上/下表面缺陷图像分别与相机组件在自然光源下拍摄的检测对象的缺陷图像进行对比,判断检测对象的缺陷所在深度位置。
于本发明的一种实施方式中,所述检测对象选自单层玻璃、液晶面板半成品或者液晶面板。
于本发明的一种实施方式中,所述的缺陷分层检测的方法包括以下步骤:
S1:将所述检测对象水平置于台架上,点亮所述自然光源,所述相机组件对所述检测对象进行拍摄,记为第一图像,关闭自然光源;
S2:点亮所述短波紫外线光源,所述相机组件对所述检测对象进行拍摄,记为第二图像;
S3:将所述检测对象水平翻转180°,重复步骤S2,记为第三图像;
S4:找出所述第一图像,所述第二图像与所述第三图像的缺陷位点,将三张图像采用同一套坐标系,记录三张图像的缺陷位点中心坐标x、y,并作结果分析。
于本发明的一种实施方式中,在步骤S1中,所述相机组件与所述自然光源位于检测对象的同侧或异侧。
于本发明的一种实施方式中,在步骤S2中,所述相机组件与所述短波紫外线光源位于检测对象的同侧。
于本发明的一种实施方式中,在步骤S2中,所述短波紫外线光源采用波长为250-280nm紫外线。
于本发明的一种实施方式中,在步骤S4前需将所述第三图像进行镜像翻转操作。
于本发明的一种实施方式中,在步骤S4中,结果分析为:
若所述第一图像与所述第二图像上有缺陷,所述第三图像上相应位置无相应缺陷,则缺陷位于所述检测对象的上表面;
若所述第一图像上有缺陷,所述第二图像与所述第三图像上相应位置无相应缺陷,则缺陷位于所述检测对象内部;
若所述第一图像与所述第三图像上有缺陷,所述第二图像上相应位置无相应缺陷,即缺陷位于所述检测对象下表面。
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