[发明专利]过滤器润湿方法和处理液供给装置

说明书

本发明提供一种过滤器的润湿方法，该过滤器设置于处理液供给装置中，用于去除处理液中的杂质，处理液供给装置包括：暂时贮存处理液的暂时贮存部；和将处理液送出到处理液释放部的泵，暂时贮存部由挠性部件分隔为贮存处理液的贮存室和位于贮存室外侧的工作流体室，根据工作流体室内的压力变化来调节贮存室内的压力，从而对贮存室补充处理液或者从该贮存室压送出处理液，该润湿方法包括：脱气步骤，在将暂时贮存部与过滤器之间的管路关闭了的状态下，使暂时贮存部的贮存室内成为负压，对该贮存室内的处理液进行脱气；和使脱气后的处理液即脱气液通过过滤器中的过液步骤。由此，能够在过滤器润湿时防止溶存于处理液的气泡在过滤器内发泡。

技术领域

本发明涉及过滤器润湿方法和处理液供给装置。

背景技术

专利文献1中，公开了一种在安装新的过滤器部时，使抗蚀液通过，以去除过滤器部内的气体的方法(过滤器润湿)。专利文献1的过滤器润湿方法包括：对过滤器部内导入抗蚀液以将过滤器内的过滤部件浸渍在抗蚀剂中的浸渍处理；和使过滤器部内成为负压气氛进行脱气的脱气处理等。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-78562号公报。

发明内容

发明要解决的技术问题

本发明所涉及的技术，在使过滤器润湿时，防止溶存于处理液中的气泡在过滤器内发泡。

用于解决技术问题的技术方案

本发明的一方式是一种过滤器的润湿方法，其中所述过滤器设置于处理液供给装置中，用于去除处理液中的杂质，所述处理液供给装置对用于向被处理体释放处理液的处理液释放部供给处理液，所述处理液供给装置包括：暂时贮存处理液的暂时贮存部；和将通过了所述过滤器的处理液送出到所述处理液释放部的泵，所述暂时贮存部由挠性部件分隔为贮存处理液的贮存室和设置于所述贮存室的外侧的工作流体室，根据所述工作流体室内的压力变化来调节所述贮存室内的压力，从而对该贮存室补充所述处理液，或者从该贮存室压送出处理液，该润湿方法包括：脱气步骤，在将所述暂时贮存部与所述过滤器之间的管路关闭了的状态下，使所述暂时贮存部的所述贮存室内成为负压，对该贮存室内的处理液进行脱气；和使脱气后的处理液即脱气液通过所述过滤器中的过液步骤。

发明效果

依照本发明，能够在过滤器润湿时，防止溶存于处理液的气泡在过滤器内发泡。

附图说明

图1是表示第1实施方式的作为处理液供给装置的抗蚀液供给装置的概略结构的说明图。

图2是说明缓冲罐的示意外观图。

图3是缓冲罐的结构的说明图。

图4是表示过滤器的概略结构的纵截面图。

图5是表示用于说明抗蚀液供给装置的概略结构的配管系统，实施了从泵内进行排出的排出步骤的状态的说明图。

图6是表示用于说明抗蚀液供给装置的概略结构的配管系统，实施了对缓冲罐的补充步骤的状态的说明图。

图7是表示用于说明抗蚀液供给装置的概略结构的配管系统，实施了缓冲罐内的抗蚀液的脱气步骤的状态的说明图。

图8是表示用于说明抗蚀液供给装置的概略结构的配管系统，实施了缓冲罐内的预先加压步骤的状态的说明图。

图9是表示用于说明抗蚀液供给装置的概略结构的配管系统，实施了缓冲罐内的除泡步骤的状态的说明图。

图10是表示用于说明抗蚀液供给装置的概略结构的配管系统，实施了从缓冲罐进行压送的压送步骤的状态的说明图。