[发明专利]过滤器润湿方法和处理液供给装置

权利要求书

1.一种过滤器的润湿方法，其特征在于：

所述过滤器设置于处理液供给装置中，用于去除处理液中的杂质，所述处理液供给装置对用于向被处理体释放处理液的处理液释放部供给处理液，

所述处理液供给装置包括：暂时贮存处理液的暂时贮存部；和将通过了所述过滤器的处理液送出到所述处理液释放部的泵，

所述暂时贮存部由挠性部件分隔为贮存处理液的贮存室和设置于所述贮存室的外侧的工作流体室，根据所述工作流体室内的压力变化来调节所述贮存室内的压力，从而对该贮存室补充所述处理液，或者从该贮存室压送出处理液，

该润湿方法包括：

脱气步骤，在将所述暂时贮存部与所述过滤器之间的管路关闭了的状态下，使所述暂时贮存部的所述贮存室内成为负压，对该贮存室内的处理液进行脱气；和

使脱气后的处理液即脱气液通过所述过滤器中的过液步骤，

所述过液步骤具有减压步骤，所述减压步骤在使所述脱气液通过所述过滤器之后，在与所述过滤器的一次侧连接的管路仅对所述泵开放的状态下，将对与所述过滤器的一次侧连接的管路开放的所述泵的内部减压，或者，在与所述过滤器的一次侧连接的管路仅对所述暂时贮存部开放的状态下，将对与所述过滤器的一次侧连接的管路开放的所述暂时贮存部的内部减压。

2.如权利要求1所述的过滤器的润湿方法，其特征在于：

所述脱气步骤是在将所述暂时贮存部与所述泵之间的管路关闭了的状态下执行的。

3.如权利要求1所述的过滤器的润湿方法，其特征在于：

所述脱气步骤是在停止对所述贮存室补充处理液以及停止从所述贮存室压送处理液的状态下执行的。

4.如权利要求1所述的过滤器的润湿方法，其特征在于：

所述脱气步骤中，将所述工作流体室内以目标压力维持规定时间以对所述贮存室内的处理液进行脱气。

5.如权利要求1所述的过滤器的润湿方法，其特征在于：

在所述脱气步骤与所述过液步骤之间具有使所述暂时贮存部的所述贮存室内从负压成为正压，将所述脱气步骤中产生的该贮存室内的气体排出的步骤。

6.如权利要求1～5中任一项所述的过滤器的润湿方法，其特征在于：

所述过液步骤通过来自所述暂时贮存部的压送，使所述脱气液通过所述过滤器并且使通过后的所述脱气液贮存在所述泵中。

7.如权利要求6所述的过滤器的润湿方法，其特征在于：

所述过液步骤具有将贮存于所述泵中的所述脱气液从所述过滤器的排出管排出的步骤。

8.如权利要求6所述的过滤器的润湿方法，其特征在于：

在从所述暂时贮存部进行压送时，调节该暂时贮存部的所述工作流体室的压力，使得所述过滤器的一次侧与二次侧的压力差收敛于规定范围内，以使气泡对所述脱气液的溶解性不降低。

9.如权利要求1～5中任一项所述的过滤器的润湿方法，其特征在于：

所述过液步骤中，通过从所述暂时贮存部进行压送，使所述脱气液以从二次侧去往一次侧的方式通过所述过滤器，并且不将通过后的所述脱气液输送到所述泵而将其排出。

10.如权利要求6所述的过滤器的润湿方法，其特征在于：

从所述暂时贮存部进行的压送是在将设置有所述过滤器的管路维持为正压的状态下进行的。

11.如权利要求6所述的过滤器的润湿方法，其特征在于：

具有在所述脱气液贮存于所述泵中的状态下，将与所述泵连接的管路关闭，对贮存于所述泵中的所述脱气液进行脱气的步骤。

12.如权利要求1～5中任一项所述的过滤器的润湿方法，其特征在于：

具有在所述过液步骤之后，用所述脱气液充满从所述过滤器至所述处理液释放部之间的步骤。