[发明专利]光纤用多孔质玻璃母材的制造方法

权利要求书

1.一种光纤用多孔质玻璃母材的制造方法，是使从燃烧器喷出玻璃原料气体及燃烧用气体所形成的火焰中产生的玻璃微粒子堆积在旋转的起始材料上而制造光纤用多孔质玻璃母材的方法，其特征在于：

在结束玻璃微粒子的堆积后紧随的至少预定的时间，从所述燃烧器持续喷出惰性气体；

将所述玻璃原料气体经由质量流量控制器供给至所述燃烧器，在结束玻璃微粒子的堆积后紧随的至少预定的时间，向所述质量流量控制器持续流入该流量范围的10％以下的惰性气体；

从所述质量流量控制器的下游导入追加的惰性气体，控制所述燃烧器的出口处的惰性气体的线速度。

2.根据权利要求1所述的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法，其中在结束玻璃微粒子的堆积后至开始下一次堆积期间，从所述燃烧器持续喷出惰性气体。

3.根据权利要求1或2所述的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法，其中从所述燃烧器喷出的惰性气体的线速度Ns为0.5m/s＜Ns＜25m/s，所述线速度Ns是在距所述燃烧器的开口端面向前方10mm的位置测量的值。

4.根据权利要求3所述的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法，其中从所述燃烧器喷出的惰性气体的线速度Ns为1.0m/s≦Ns≦15m/s，所述线速度Ns是在距所述燃烧器的开口端面向前方10mm的位置测量的值。

5.根据权利要求1或2所述的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法，其中所述玻璃原料为SiCl₄或GeCl₄。

6.根据权利要求1或2所述的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法，其中所述燃烧器是多喷嘴燃烧器。

7.根据权利要求1或2所述的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法，其中所述惰性气体是氦气、氩气及氮气中的至少任一种。

8.根据权利要求1或2所述的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法，其中所述惰性气体预热成比玻璃原料气体的沸点高的温度后被导入。