[发明专利]光电倍增管用光电阴极、制备方法及光电倍增管

权利要求书

1.一种光电倍增管用光电阴极的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

在光电倍增管玻璃光窗的内侧表面制备基底层，所述基底层由Al₂O₃的结晶性材料形成；

在基底层上制备双碱光电阴极，其中基底层与双碱光电阴极两者相接触。

2.根据权利要求1所述的光电倍增管用光电阴极的制备方法，其特征在于，所述基底层的制备包括：

在一定温度下，先将Al蒸镀到玻璃光窗上形成金属薄膜，然后通入氧气，进行辉光放电，氧化成Al₂O₃基底层。

3.根据权利要求2所述的光电倍增管用光电阴极的制备方法，其特征在于，在基底层沉积过程中，通过反射率监测基底层的厚度。

4.根据权利要求2所述的光电倍增管用光电阴极的制备方法，其特征在于，所述基底层的制备包括：

步骤1、对光电倍增管玻璃壳体进行抽真空、加热处理；

步骤2、在一定的温度条件下，在光电倍增管玻璃壳体的玻璃光窗内侧表面蒸镀一层Al金属薄膜；

步骤3、在玻璃壳体内充入氧气，在氮气保护下，对蒸镀的Al金属薄膜进行辉光放电氧化处理，并通过反射率监测基底层的厚度变化；

步骤4：重复步骤2和步骤3，使制备的Al₂O₃基底层达到一定厚度；

步骤5：提高温度，对制备的Al₂O₃基底层进行高温退火晶化处理。

5.根据权利要求4所述的光电倍增管用光电阴极的制备方法，其特征在于，步骤2中，Al金属薄膜的蒸镀温度为300℃-400℃。

6.根据权利要求4所述的光电倍增管用光电阴极的制备方法，其特征在于，步骤2-3中，氧化时间为5-20min/次，通过反射率监控使得反射率下降的比例之和达到20％-50％时停止氧化。

7.根据权利要求4所述的光电倍增管用光电阴极的制备方法，其特征在于，在步骤5中，对Al₂O₃基底层的退火的温度为500℃-700℃，退火时间为1-5小时。