[发明专利]一种多料盒半自动式等离子体处理装置及其使用方法有效
申请号: | 202010056276.7 | 申请日: | 2020-01-18 |
公开(公告)号: | CN111243932B | 公开(公告)日: | 2022-07-05 |
发明(设计)人: | 刘鑫培;沈文凯;王红卫 | 申请(专利权)人: | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司;苏州德睿源等离子体研究院有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
代理公司: | 苏州科洲知识产权代理事务所(普通合伙) 32435 | 代理人: | 周亮 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多料盒 半自动 等离子体 处理 装置 及其 使用方法 | ||
本发明涉及一种多料盒半自动式等离子体处理装置及使用方法,包括机箱、真空腔、升降组件、平移组件、弹夹料架及夹板组件;所述机箱内设置有机架,所述真空腔、升降组件、平移组件、弹夹料架及夹板组件均固定在所述机架上;所述弹夹料架设置在所述升降组件上,所述夹板组件设置在所述平移组件上;该使用方法操作简单,使用方便,适用性强;本发明解决现有技术中对弹夹式产品等离子体处理强度不足、处理效率低、处理均匀性有限的缺陷,本发明实现对弹夹式多料盒产品进行半自动化等离子体处理,提高处理效率,提高等离子体处理的强度,提高等离子体处理的均匀性,从而提高产品的处理质量。
技术领域
本发明涉及等离子体处理设备技术领域,具体地说是一种多料盒半自动式等离子体处理装置及其使用方法。
背景技术
等离子体是不同于固体、液体和气体,是物质存在的第四态,等离子体又叫做电浆,是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质。
等离子体技术在众多领域都具有十分显著的优点,在对材料表面进行改性处理方面,具有成本低、无废弃物、无污染等优点;在杀菌消毒方面具有安全性高、无药物残留、灭菌时间短、无环境污染等优点;在对各类污染物(废气、废水)处理方面具有能耗低、效率高、处理流程短、适用范围广等优点。
现有技术中等离子体处理装置,一方面在使用过程中存在人工成本高,处理效率低的问题,例如,往往需要人工每次处理前打开腔门,将待处理物料放置到真空腔内,关闭真空腔,然后抽真空,待真空度达到背底真空后,充入工艺气体,达到平衡后,打开电源进行放电,待等离子体处理完成后,关闭电源,关闭充气,关闭真空泵,打开破真空阀,待真空腔内压力达到大气压后,打开真空腔,再人工将处理完成的产品从真空腔中取出,重复上述操作完成一批待处理产品;另一方面,现有等离子体处理装置多是对单个产品进行等离子体处理,现有弹夹式产品的处理方式多采用U型电极,U型电极处理强度不足,且多是对整个弹夹进行等离子体处理,对于弹夹式产品处理效果差,影响产品质量。
因此,如何提供一种多料盒半自动式等离子体处理装置,以实现对弹夹式多料盒产品进行自动化等离子体处理,提高处理效率,提高等离子体处理的强度,提高等离子体处理的均匀性,从而提高产品的处理质量,是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。
发明内容
有鉴于此,本申请的目的在于提供一种多料盒半自动式等离子体处理装置及其使用方法,以实现对弹夹式多料盒产品进行自动化等离子体处理,提高处理效率,提高等离子体处理的强度,提高等离子体处理的均匀性,从而提高产品的处理质量。
为了达到上述目的,本申请提供如下技术方案。
采用的第一种技术方案:一种多料盒半自动式等离子体处理装置,包括机箱、真空腔、升降组件、平移组件、弹夹料架及夹板组件;
所述机箱内设置有机架,所述真空腔、升降组件、平移组件、弹夹料架及夹板组件均固定在所述机架上;
所述弹夹料架设置在所述升降组件上,所述夹板组件设置在所述平移组件上。
优选地,所述真空腔包括腔体、腔盖,所述腔盖的一端设置有滑动组件,以使得所述腔盖能够相对所述腔体移动;
所述腔体内设置有正极板,所述正极板与所述腔体之间通过绝缘板固定连接,所述正极板上方设置有正电极罩板,所述正电极罩板用于固定所述正极板。
所述腔体下端设置有排气口和电极柱,所述电极柱与所述正极板连接。
优选地,所述腔体内设置有导向条,所述导向条设置在所述正极板上方,且固定在所述正电极罩板上方,所述导向条上设置有导向槽,所述导向槽用于放置待处理物料。
优选地,所述滑动组件包括第一基板、第一滑动架、第一驱动电机、第一丝杆,所述第一滑动架一端与所述腔盖固定连接,所述第一滑动架与所述第一丝杆滑动连接,所述第一驱动电机与所述第一丝杆传动连接。
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