[发明专利]双真空室离子束加工系统及加工方法

说明书

本发明提供一种双真空室离子束加工系统及加工方法，属于离子束加工技术领域，包括相互连通的离子源真空室和工件真空室，所述工件真空室内设有：工件翻移组件，吊装在工件真空室内，用于固定待加工工件，并带动待加工工件在工件真空室内移动、翻转。所述工件翻移组件包括：工件卡盘；工件翻转车，与所述工件卡盘连接以带动工件卡盘翻转；直线模组，用于固定所述工件翻转车，以使工件翻转车移动。本发明上料时只需将工件固定在该工件真空室的工件翻移组件上，通过工件翻移组件带动工件在工件真空室内移动，无需将工件输送至离子源真空室内，上料简单；通过工件翻移组件带动工件翻转，安装拆卸方便，提高了工作效率，降低了工作强度。

技术领域

本发明属于离子束加工技术领域，具体涉及一种双真空室离子束加工系统，另外，本发明还涉及一种利用上述双真空室离子束加工系统进行工件加工的加工方法。

背景技术

离子束加工系统是一种高精度加工光学元件的超精密加工设备，当采用离子束加工系统进行工件抛光时，先使用干涉仪测量待加工零件面型，生成面形误差检测数据，使用工艺软件来确定工艺参数和加工轨迹，在工控机的控制下对待加工零件表面进行抛光，通过控制离子束在零件表面的驻留时间或移动速度，从而精确控制待加工零件去除量，修正待加工零件表面的面形误差，达到最终的面形要求。

现有技术(CN102744654B)公开了一种双真空室离子束抛光系统及抛光方法，包括真空工作室，真空工作室旁设用于装卸工件的辅助真空室，真空工作室与辅助真空室间设用于控制二者通断的插板阀，真空工作室和辅助真空室内设有可在二者之间传送工件的工件传送装置。

该现有技术使用时在辅助真空室完成工件的取放操作，操作过程中需要把工件安装在工件动装置上，再由工件传动装置传送至真空工作室内，并通过真空工作室内的夹具定位，整个上料过程比较繁琐，且工件的安装时需要举起工件使其加工面朝上，因此工件的安装和拆卸比较费力，工作强度大。

发明内容

基于上述背景问题，本发明旨在提供一种双真空室离子束加工系统，待加工工件和离子源分处在不同的真空室内，通过在工件真空室内设置工件翻移组件来使工件移动翻转，工件无需输送至离子源真空室内，上料简单且安装拆卸方便。另外，本发明还提供一种如上所述的双真空室离子束加工系统的加工方法。

为实现上述目的，本发明的技术方案是：

双真空室离子束加工系统，包括相互连通的离子源真空室和工件真空室，所述工件真空室内设有：工件翻移组件，吊装在工件真空室内，用于固定待加工工件，并带动待加工工件在工件真空室内移动、翻转。

在一个实施例中，所述离子源真空室和工件真空室上下设置，且所述工件真空室设置在离子源真空室的上方。

在一个实施例中，所述工件翻移组件包括：工件卡盘，用于安装固定待加工工件；工件翻转车，与所述工件卡盘连接以带动工件卡盘翻转；直线模组，设置在工件真空室的顶部，用于固定所述工件翻转车，并使工件翻转车移动。

在一个实施例中，所述工件卡盘包括卡盘本体、以及用于将待加工工件与卡盘本体连接的锁紧件；所述锁紧件包括：夹板，呈L型结构，包括与卡盘本体表面平行的水平段，以及与卡盘本体表面垂直的竖直段；顶紧螺丝，穿设在所述水平段上用于将夹板与卡盘本体连接；工件挂钩、垫块，分设在所述竖直段的两端用于夹紧待加工工件，所述垫块沿竖直段可移动设置，以匹配不同厚度的待加工工件。

优选地，所述夹板沿卡盘本体的径向可移动设置，以匹配不同大小的待加工工件。

优选地，所述工件翻转车包括：支架，分别与所述直线模组、工件卡盘连接；翻转电机，设置在所述支架上；传动件，一端与翻转电机的输出轴连接，另一端与工件卡盘连接，以通过翻转电机带动工件卡盘翻转。