[发明专利]用于制造光学玻璃元件的成型模具和光学玻璃元件在审
申请号: | 202010037429.3 | 申请日: | 2020-01-14 |
公开(公告)号: | CN111235569A | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
发明(设计)人: | 刘浩;张树参;蔡保贤 | 申请(专利权)人: | 瑞声通讯科技(常州)有限公司 |
主分类号: | C23C28/00 | 分类号: | C23C28/00;C03B11/08 |
代理公司: | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人: | 齐则琳 |
地址: | 213000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 制造 光学玻璃 元件 成型 模具 | ||
1.一种用于制造光学玻璃元件的成型模具,所述模具包括基板和位于所述基板表面的镀层,其特征在于,所述镀层包括自所述基板表面依次层叠的过渡层和功能层;所述过渡层为包括碳化物或氮化物的陶瓷过渡层,所述功能层为包括钼(Molybdenum,Mo)、铼(Rhenium,Re)、铱(Iridium,Ir)和铑(Rhodium,Rh)组成或者包括Mo、Re、Ir和钌(Ruthenium,Ru)组成的贵金属合金功能层。
2.根据权利要求1所述的模具,其特征在于,所述过渡层为包括碳化钨(WolframCarbon,WC)或氮化铬(Chromium Nitrogen,CrN)的陶瓷过渡层。
3.根据权利要求1或2所述的模具,其特征在于,所述过渡层厚度为30nm-200nm。
4.根据权利要求3所述的模具,其特征在于,所述过渡层为包括碳化钨的陶瓷过渡层且厚度为70nm-100nm。
5.根据权利要求3所述的模具,其特征在于,所述过渡层为包括氮化铬的陶瓷过渡层且厚度为100nm-200nm。
6.根据权利要求1所述的模具,其特征在于,所述功能层包括10-50at%的Mo、5-50at%的Re、10-50at%的Ir以及10-50at%的Ru或Rh。
7.根据权利要求1或6所述的模具,其特征在于,所述功能层厚度为200nm-1000nm。
8.一种光学玻璃元件,其采用如权利要求1至7中任一项所述的模具模塑。
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