[发明专利]一种可均匀释放固体缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种可均匀释放固体缓蚀剂，其特征在于，包括如下重量份的组分：缓蚀剂主剂30～40份、辅剂60～70份，所述主剂选自咪唑啉或咪唑啉季铵盐或二者混合物，所述辅剂包括十二烷基苯磺酸钠、粘结剂和焦磷酸钾。

2.根据权利要求1所述可均匀释放固体缓蚀剂，其特征在于：所述辅剂中包括如下重量份的组分：十二烷基苯磺酸钠15～10份、粘结剂40～45份和焦磷酸钾5～10份。

3.根据权利要求2所述可均匀释放固体缓蚀剂，其特征在于：所述粘结剂选自酚醛树脂、聚乙二醇、聚氨酯、邻苯二甲酸乙二酯中的一种或两种或两种以上的物质混合物。

4.权利要求1所述可均匀释放固体缓蚀剂的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)在装有温度计的容器中加入辅剂十二烷基苯磺酸钠，辅剂粘结剂加热搅拌至完全溶解；

(2)加入辅剂焦磷酸钾，继续搅拌，降温到130～140℃；

(3)加入主剂，继续搅拌2～3h，连接造粒机进行造粒，得到可均匀释放固体缓蚀剂颗粒成品；

其中，主剂选自咪唑啉或咪唑啉季铵盐或二者混合物。

5.根据权利要求4所述可均匀释放固体缓蚀剂的制备方法，其特征在于：所述主剂与辅剂重量份比为3:7-4:6。

6.根据权利要求4所述可均匀释放固体缓蚀剂的制备方法，其特征在于：辅剂中，所述十二烷基苯磺酸钠：粘结剂：焦磷酸钾的重量份比为(3～2)：(8～9)：(1～2)。

7.根据权利要求6所述可均匀释放固体缓蚀剂的制备方法，其特征在于：步骤(1)所述粘结剂选自酚醛树脂、聚乙二醇、聚氨酯、邻苯二甲酸乙二酯中的一种或两种或两种以上的物质混合物。

8.根据权利要求4所述可均匀释放固体缓蚀剂的制备方法，其特征在于：步骤(1)所述容器为三口烧瓶。

9.根据权利要求4所述可均匀释放固体缓蚀剂的制备方法，其特征在于：步骤(1)所述加热温度为150～170℃。

10.根据权利要求4所述可均匀释放固体缓蚀剂的制备方法，其特征在于：步骤(2)所述搅拌时间为2～3h，所述降温方式为自然降温。