[发明专利]一种自由曲面光学透镜的多激光复合精密加工方法

权利要求书

1.一种自由曲面光学透镜的多激光复合精密加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：确定预制点位置与数量，根据光学材料的特定三维结构，利用三维软件将复杂曲面结构拟合成若干点；

步骤二：制备曲面预制点，将超快激光焦点通过聚焦系统调节聚焦于预制点位置，利用超快激光逐个在光学材料内部制备预制点，将光学材料放置在三维运动平台上，利用振镜扫描带动超快激光光束二维运动，配合三维运动平台实现系列预制点的制备；

步骤三：激光切割，利用连续光纤激光分离装置对光纤激光进行整形，后将光纤激光入射至光学材料内部，并使预制点吸收激光能量在预制点处产生高温区域，随后光纤激光移动，使高温区域跟随激光移动；

步骤四：CO₂激光作用于切割分离表面。

2.根据权利要求1所述的一种自由曲面光学透镜的多激光复合精密加工方法，其特征在于：所述步骤二中，将光学材料放置在旋转平台上，超快激光焦点上下移动配合旋转平台带动光学材料高速旋转，在光学材料内部制备出系列预制点。

3.根据权利要求2所述的一种自由曲面光学透镜的多激光复合精密加工方法，其特征在于：所述旋转平台下方设有三维运动平台。

4.根据权利要求1所述的一种自由曲面光学透镜的多激光复合精密加工方法，其特征在于：所述步骤三中的连续光纤激光分离装置包括连续光纤激光器、光纤、光纤耦合器、激光扩束镜、聚焦镜和竖直运动机构，所述连续光纤激光器、光纤、光纤耦合器和激光扩束镜依次连接，所述聚焦镜位于激光扩束镜下方，所述聚焦镜固定在竖直运动机构上。

5.根据权利要求1-4任一项 所述的一种自由曲面光学透镜的多激光复合精密加工方法，其特征在于：步骤二中所述的超快激光为皮秒激光或飞秒激光。