[发明专利]元件管理装置及元件管理方法

说明书

元件管理装置具备取得部和存储部。取得部在从具备多个收容有向基板安装的元件的腔室的载带依次供给元件时，取得收容有该元件的腔室的位置信息。存储部将由取得部取得的腔室的位置信息及识别卷绕有载带的带盘的识别信息建立关联地存储于存储装置。

技术领域

本说明书公开与元件管理装置及元件管理方法相关的技术。

背景技术

专利文献1所记载的信息管理装置具备：拾取源信息取得单元、安装目的地信息取得单元及存储单元。拾取源信息取得单元取得包含用于识别晶圆的识别信息和与晶圆中的元件的拾取位置相关的拾取位置信息的拾取源信息。安装目的地信息取得单元取得包含用于识别基材的识别信息和与基材上的元件的安装位置相关的安装位置信息的安装目的地信息。在将元件安装于基材时，存储单元存储将所安装的安装元件的拾取源信息与安装元件的安装目的地信息建立了关联而得到的安装实绩信息。

专利文献2所记载的电子元件输送装置具有：输送台，形成输送路径；收容体保持单元，保持电子元件的收容体；观察单元，观察输送路径内的电子元件；及多个载带行进装置，配置于输送台的周围。另外，收容体保持单元是保持将电子元件排列成阵列状的晶圆环的晶圆环保持部或者是保持将平面分隔成格子状而将电子元件排列成阵列状的托盘的托盘保持部。

另外，专利文献2所记载的电子元件输送装置将晶圆环的各电子元件分类为合格品或者合格品以外。合格品用的载带行进装置一边使载带沿着带盘的输送方向行进，一边将电子元件收纳于载带的袋子中，并利用密封带进行密封。带盘卷绕被密封带密封的载带。当对于合格品的电子元件的载带的捆包完成时，对被分类为合格品以外的电子元件进行重新检查。在重新检查中，作业员检查由观测装置得到的数据，将被分类为合格品以外的电子元件重新判定为合格品和合格品以外。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2018-056306号公报

专利文献2：日本特开2016-100394号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在元件的供给方法中，包括如专利文献1所记载的发明那样从晶圆供给元件的晶圆供给和从带盘供给元件的带盘供给。另外，还已知如专利文献2所记载的发明那样，将排列于晶圆的元件转移到带盘而进行带盘供给。以往，在带盘供给中，以带盘为单位进行所供给的元件的管理，作为可追溯信息并不充分。具体而言，需要对从收容作为追踪对象的元件的带盘供给的所有元件进行追踪，追踪作业繁杂。

鉴于这样的情况，本说明书公开一种能够对于从载带依次供给元件的带盘供给元件提高可追溯性的元件管理装置及元件管理方法。

用于解决课题的技术方案

本说明书公开一种元件管理装置，其具备取得部和存储部。上述取得部在从具备多个收容有向基板安装的元件的腔室的载带依次供给上述元件时，取得收容有该元件的上述腔室的位置信息。上述存储部将由上述取得部取得的上述腔室的位置信息及识别卷绕有上述载带的带盘的识别信息建立关联地存储于存储装置。

另外，本说明书公开一种元件管理方法，其具备取得工序和存储工序。在上述取得工序中，在从具备多个收容向基板安装的元件的腔室的载带依次供给上述元件时，取得收容有该元件的上述腔室的位置信息。在上述存储工序中，将通过上述取得工序取得的上述腔室的位置信息及识别卷绕有上述载带的带盘的识别信息建立关联地存储于存储装置。

发明效果

根据上述元件管理装置，具备取得部和存储部。由此，元件管理装置能够将收容有所供给的元件的腔室的位置信息与识别带盘的识别信息建立关联地存储于存储装置。由此，元件管理装置的利用者容易从由带盘的载带供给的元件之中，基于腔室的位置信息来找到作为追踪对象的元件，可追溯性提高。关于元件管理装置的上述内容对于元件管理方法也相同。

附图说明