[发明专利]元件管理装置及元件管理方法

权利要求书

1.一种元件管理装置，具备：

取得部，在从具备多个收容有向基板安装的元件的腔室的载带依次供给所述元件时，取得收容有该元件的所述腔室的位置信息；及

存储部，将由所述取得部取得的所述腔室的位置信息与识别卷绕有所述载带的带盘的识别信息建立关联地存储于存储装置，

所述载带收容排列于晶圆的所述元件即晶圆元件，

在供给所述元件之前，所述存储部将所述晶圆中的所述晶圆元件的排列信息和在所述载带中收容有所述晶圆元件的所述腔室的位置信息预先建立关联地存储于所述存储装置。

2.根据权利要求1所述的元件管理装置，其中，

所述取得部基于所述载带中的所述元件的初始收容数量和残留于所述载带的所述元件的残留数量来取得所述载带中的所述腔室的位置信息。

3.根据权利要求1所述的元件管理装置，其中，

所述取得部基于从所述载带供给了所述元件的所述元件的供给数量来取得所述载带中的所述腔室的位置信息。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的元件管理装置，其中，

所述存储部将与安装有所述元件的所述基板相关的基板信息、与在所述元件的安装中被使用了的设备相关的设备信息、与所述元件被保持部件拾取并保持时的所述元件的保持状态相关的保持信息及与所述元件被所述保持部件安装于所述基板时的所述元件的安装状态相关的安装信息中的至少一个信息与所述腔室的位置信息及所述带盘的识别信息建立关联地存储于所述存储装置。

5.根据权利要求1所述的元件管理装置，其中，

所述晶圆元件在多个所述载带中按所述晶圆中的排列顺序被收容，

在供给所述元件之前，所述存储部将识别所述晶圆的识别信息、识别卷绕有所述载带的多个所述带盘的识别信息及包含收容于各所述载带的预定的所述晶圆元件在所述晶圆中的所述排列顺序的所述排列信息预先建立关联地存储于所述存储装置。

6.根据权利要求1或5所述的元件管理装置，其中，

所述载带将所述晶圆中的排列顺序比特定部件靠后的所述晶圆元件提前而收容于预定收容所述特定部件的所述腔室即特定腔室中，所述特定部件是所述晶圆所包含的不良的所述晶圆元件、品质为预定等级以下的所述晶圆元件及表示所述晶圆的基准位置的基准部件中的至少一个，

在供给所述元件之前，所述存储部将包含所述特定腔室的位置及个数的特定腔室信息预先存储于所述存储装置。

7.根据权利要求1或5所述的元件管理装置，其中，

所述载带的预定收容特定部件的所述腔室即特定腔室被设定为空腔室，所述特定部件是所述晶圆所包含的不良的所述晶圆元件、品质为预定等级以下的所述晶圆元件及表示所述晶圆的基准位置的基准部件中的至少一个，

在供给所述元件之前，所述存储部将包含所述空腔室的位置及个数的空腔室信息预先存储于所述存储装置。

8.根据权利要求1或5所述的元件管理装置，其中，

所述载带的预定收容所述晶圆元件的预定的所述腔室被设定为空腔室，

在供给所述元件之前，所述存储部将包含所述空腔室的位置及个数的空腔室信息预先存储于所述存储装置。

9.根据权利要求7所述的元件管理装置，其中，

所述元件管理装置还具备判别部，所述判别部判别在对所述载带进行间距进给而依次供给所述元件的元件供给装置供给所述元件时检测出的所述空腔室信息与存储于所述存储装置的所述空腔室信息是否一致。

10.根据权利要求8所述的元件管理装置，其中，

所述元件管理装置还具备判别部，所述判别部判别在对所述载带进行间距进给而依次供给所述元件的元件供给装置供给所述元件时检测出的所述空腔室信息与存储于所述存储装置的所述空腔室信息是否一致。