[发明专利]支承玻璃基板在审
| 申请号： | 201980098843.0 | 申请日： | 2019-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN114222722A | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 稻叶诚二;斋藤康成;玉井喜芳;小野和孝;小林悠波 | 申请（专利权）人： | AGC株式会社 |
| 主分类号： | C03C3/091 | 分类号： | C03C3/091;C03C3/062;C03C3/064;C03C3/068;C03C3/083;C03C3/085;C03C3/089;C03C3/093;C03C3/095;H01L23/15 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 支承 玻璃 | ||
1.一种支承玻璃基板，其杨氏模量ε相对于密度d的比率ε/d为32.0GPa·cm3/g以上，且是大于比率算出值α的值，该比率算出值α是根据组成而算出的杨氏模量相对于密度的比率，所述杨氏模量ε的单位是GPa，所述密度d的单位是g/cm3，所述比率算出值α的单位是GPa·cm3/g，
比率算出值α由下式表示，单位是GPa·cm3/g，
α＝2·Σ{(Vi·Gi)/Mi)·Xi}
这里，Vi为所述支承玻璃基板所含的金属氧化物的填充参数，Gi为所述支承玻璃基板所含的金属氧化物的解离能，Mi为所述支承玻璃基板中所含的金属氧化物的分子量，Xi为所述支承玻璃基板中所含的金属氧化物的摩尔比。
2.根据权利要求1所述的支承玻璃基板，满足比率ε/d＞比率算出值α+2.0GPa·cm3/g的关系，所述比率ε/d和比率算出值α的单位是GPa·cm3/g。
3.根据权利要求2所述的支承玻璃基板，满足比率ε/d＞比率算出值α+4.0GPa·cm3/g的关系，所述比率ε/d和比率算出值α的单位是GPa·cm3/g。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的支承玻璃基板，其中，比率ε/d为37.0GPa·cm3/g以上，所述比率ε/d的单位是GPa·cm3/g。
5.根据权利要求4所述的支承玻璃基板，其中，比率ε/d为40.0GPa·cm3/g以上，所述比率ε/d的单位是GPa·cm3/g。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的支承玻璃基板，其中，相对于所述支承玻璃基板的总量，选自MgO、CaO和Y2O3中的1种以上的成分的合计含量以摩尔％计为15％～50％的范围。
7.根据权利要求6所述的支承玻璃基板，其中，相对于所述支承玻璃基板的总量，SiO2与Al2O3的合计含量以摩尔％计为50％～85％的范围。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的支承玻璃基板，厚度为0.1mm～0.5mm的范围。
9.根据权利要求1～8中任一项所述的支承玻璃基板，其是用于制造扇出型晶圆级封装和扇出型面板级封装中的至少一者的支承玻璃基板。
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