[发明专利]成像质量分析装置

权利要求书

1.一种成像质量分析装置，其特征在于，具备：

分析执行部，对在试样上的二维区域内设定的多个测量点分别执行质量分析，对每个该测量点收集规定的质荷比范围内的质谱数据；

条件存储部，预先存储基于通过在所述分析执行部的分析而得到的质谱数据生成数据矩阵时的数据矩阵生成条件；

数据矩阵生成部，从所述分析执行部进行的分析的执行途中开始或者接在该分析结束后，依照所述条件存储部中存储的数据矩阵生成条件，基于在该时间点已经收集到的质谱数据生成数据矩阵。

2.如权利要求1所述的成像质量分析装置，其特征在于，

进一步具备多变量解析处理部，进行使用了由所述数据矩阵生成部生成的数据矩阵的多变量解析。

3.如权利要求1所述的成像质量分析装置，其特征在于，

进一步具备条件设定部，使用户在所述分析执行部执行分析之前设定所述数据矩阵生成条件，并将该设定的数据矩阵生成条件存储至所述条件存储部。

4.如权利要求3所述的成像质量分析装置，其特征在于，

所述条件设定部使用户设定由所述分析执行部进行分析时的分析条件并且设定所述数据矩阵生成条件。

5.如权利要求1所述的成像质量分析装置，其特征在于，

所述数据矩阵生成部根据所述条件存储部中存储的数据矩阵生成条件，在所述分析执行部进行分析的执行途中和该分析刚结束后，切换数据矩阵的生成处理的开始时间点。

6.如权利要求1所述的成像质量分析装置，其特征在于，

所述数据矩阵生成条件将记载于目标物质的列表中的质荷比设为对象来生成数据矩阵。

7.如权利要求1所述的成像质量分析装置，其特征在于，

所述数据矩阵生成条件将与基于收集到的全部的质谱数据计算的平均质谱或者最大强度质谱中的峰对应的质荷比作为对象，生成数据矩阵。