[发明专利]离子化装置

权利要求书

1.一种离子化装置，可装卸地安装于离子分析装置的主体，其特征在于，具备：

离子化部，具有试样载台和对载置于该试样载台上的试样照射光的光照射部；

基体，保持所述离子化部；

可动机构，设置于所述基体，将所述离子化部保持为能够相对于一个以上的轴移动或者旋转。

2.如权利要求1所述的离子化装置，其特征在于，

所述可动机构包含移动机构，所述移动机构将所述离子化部保持为能够在相互非平行且不在同一面上的三个方向上移动。

3.如权利要求1所述的离子化装置，其特征在于，

所述可动机构包含旋转机构，所述旋转机构将所述离子化部保持为能够绕相互非平行的两个轴旋转。

4.如权利要求1所述的离子化装置，其特征在于，

所述离子化部进一步具有移动所述试样载台的试样载台移动机构。

5.如权利要求1所述的离子化装置，其特征在于，

所述离子化部进一步具有观察装置，构成为观察所述试样的表面。

6.如权利要求1所述的离子化装置，其特征在于，

所述离子化部具有安装于所述主体的离子化部侧安装面，

所述可动机构具有：

竖直移动机构，使所述离子化部在垂直方向上移动；

旋转机构，使所述离子化部与所述离子化部侧安装面平行且绕水平的轴旋转；

水平可动机构，使所述离子化部在水平方向上移动以及旋转。

7.一种离子分析装置，具备权利要求1所述的离子化装置和可装卸地安装有该离子化装置的离子分析装置的主体，其特征在于，

所述离子化部具有安装于所述主体的离子化部侧安装面，

所述主体具有供所述离子化部安装的主体侧安装面，

在所述离子化部侧安装面和所述主体侧安装面中的一方设置有3个以上的突出部，在另一方形成有收容该3个以上的突出部的槽。

8.如权利要求7所述的离子分析装置，其特征在于，

在所述离子化装置中的所述离子化部侧安装面一侧的规定的位置和所述主体中的所述主体侧安装面一侧的规定的位置中的一方，设置有比所述突出部还要大地突出的第2突出部，在另一方形成有供该第2突出部插入的插入口。