[发明专利]用于使用能量束加热物体的方法和系统

权利要求书

1.一种加热物体的至少一个选定部分的方法，包括以下步骤：

用包括扫描仪(2)的装置(10)将能量束(11)投射到所述物体(100；206)的表面上，以在所述表面上产生主光斑，并根据扫描图案在二维上重复扫描所述能量束(11)，以在所述表面上建立有效光斑(12)，所述有效光斑具有二维能量分布；

相对于所述物体(100；206)的所述表面移动所述有效光斑(12)，以逐渐加热所述物体的所述至少一个选定部分，其中所述相对于所述物体(100；206)的所述表面移动所述有效光斑(12)包括遵循具有至少一个方向改变的轨迹(104)来移动所述有效光斑；

其特征在于：

所述方法包括通过对应于所述至少一个方向改变修改所述扫描仪(2)的操作来保持所述有效光斑(12)与所述轨迹(104)对准。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，保持所述有效光斑(12)与所述轨迹(104)对准的步骤是在不为了将所述有效光斑(12)与所述轨迹(104)对准而围绕任何轴线枢转所述装置(10)的情况下进行的。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，执行修改所述扫描仪的操作的步骤以使所述有效光斑(12)围绕与所述能量束(11)基本对准的轴线转动，而不需要使所述装置(10)转动，并且不需要使所述物体(100，206)围绕与所述能量束(11)基本对准的任何轴线转动。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的方法，其特征在于，所述轨迹在平面(X-Y)中延伸，并且其中，执行修改所述扫描仪(2)的操作的步骤，以使所述有效光斑围绕与所述平面基本上垂直的轴线(Z)转动，而不需要使所述装置(10)转动，并且不需要使所述物体(100，206)围绕与所述平面基本垂直的任何轴线转动。

5.根据前述权利要求中任一项的方法，包括对应于所述至少一个方向改变保持所述有效光斑的几何形状和/或扫描图案(12A、12b、12c)的几何形状恒定的步骤。

6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，包括对应于所述至少一个方向改变来修改所述有效光斑(12)的几何形状和/或所述扫描图案(12A、12b；12c、12d)的几何形状的步骤。

7.一种加热物体的至少一个选定部分的方法，包括以下步骤：

用包括扫描仪(2)的装置(10)将能量束(11)投射到所述物体(100；206)的表面上，以在所述表面上产生主光斑，并根据扫描图案在二维上重复扫描所述能量束(11)，以在所述表面上建立有效光斑(12)，所述有效光斑具有二维能量分布；

相对于所述物体(100；206)的所述表面移动所述有效光斑(12)，以逐渐加热所述物体的所述至少一个选定部分，其中所述相对于所述物体(100；206)的所述表面移动所述有效光斑(12)包括遵循具有至少一个方向改变的轨迹(104)来移动所述有效光斑；

其特征在于：

所述方法包括对应于所述至少一个方向改变来修改所述有效光斑(12)的几何形状和/或所述扫描图案(12a、12b；12c、12d)的几何形状。

8.根据权利要求6和7中任一项所述的方法，其中修改所述有效光斑的几何形状和/或所述扫描图案的几何形状包括：

修改所述扫描图案(12a、12b；12c、12d)，其中所述扫描图案的至少一些部分根据它们到所述方向改变的中心的距离来修改；

和/或

修改所述扫描图案，使得所述扫描图案(12a、12b；12c、12d)的所有部分对应于所述至少一个方向改变以基本相同的角速度沿着所述轨迹(104)的弯曲部分移动；

和/或

沿着所述轨迹的直的部分以相同的线速度移动所述扫描图案的特征点(a，b，c，d，e，f)，并且对应于所述方向改变，在所述轨迹的整个弯曲部分以所述相同的角速度移动所述扫描图案的所述特征点(a、b、c、d、e、f)，其中在所述轨迹的所述弯曲部分处，所述特征点中的至少一个以与所述特征点中的至少另一个不同的线速度移动。