[发明专利]保管系统

说明书

可靠且容易地进行吊车相对于空中轨道的搬出及搬入。保管系统(SYS)具备：空中仓储装置(100)，该空中仓储装置(100)具有第1空中轨道(20)、在上下方向上具备多层保管部(11)的置物架(10)、和沿着第1空中轨道(20)行进且在多层保管部(11)之间交接物品(2)的吊车(40)；以及空中搬送车系统，该空中搬送车系统具有与空中仓储装置(100)的下端相比设在下方的第2空中轨道(30)、和沿着第2空中轨道(30)行进且相对于装载口(LP)交接物品(2)的空中搬送车(50)，第1空中轨道(20)在俯视时从第2空中轨道(30)偏离的部分具有能够支承着停止行进的吊车(40)而下降的升降轨道(25)。

技术领域

本发明涉及保管系统。

背景技术

在半导体制造工厂等中，通过空中搬送车对收容半导体晶圆的FOUP(Front-Opening Unified Pod，前开式晶圆传送盒)或收容掩模的掩模盒(reticule pot)等物品进行搬送，相对于处理装置的装载口等移载目的地进行物品的交接。已知由该空中搬送车搬送的物品被保管于能够在与该空中搬送车之间交接物品的保管系统(例如参照专利文献1)。在专利文献1中，载置物品的保管部沿上下方向设有多层，能够在该保管部之间移载物品。另外，已知多层保管部中的物品的移载能够适用沿着空中轨道行进而在多个保管部之间交接物品的吊车(例如参照专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017-030944号公报

专利文献2：国际公开第2018/074130号

发明内容

专利文献2所记载的吊车需要在维护等中相对于空中轨道搬出及搬入。例如，在该吊车所行进的空中轨道的下方设有各种系统、装置或保管部等的情况下，需要避开该各种系统等的配置地进行吊车相对于空中轨道的搬入及搬出。

本发明的目的在于提供一种能够可靠且容易地进行吊车相对于空中轨道的搬出及搬入的保管系统。

本发明的方案的保管系统具备：空中仓储装置，该空中仓储装置具有第1空中轨道、在上下方向上具备多层保管部的置物架、和沿着第1空中轨道行进且在多层保管部之间交接物品的吊车；以及空中搬送车系统，该空中搬送车系统具有与空中仓储装置的下端相比设在下方的第2空中轨道、和沿着第2空中轨道行进且相对于规定的移载目的地交接物品的空中搬送车，第1空中轨道在俯视时从第2空中轨道偏离的部分具有能够支承着停止行进的吊车而下降的升降轨道。

另外，也可以是，升降轨道被设在作业者用通道的正上方。另外，也可以具备将升降轨道悬吊并保持的悬吊部件、和通过卷绕或放出悬吊部件而使升降轨道升降的升降轨道驱动部。另外，也可以是，具备在空中仓储装置与空中搬送车系统之间沿上下方向搬送物品的搬送装置，在升降轨道的正下方设有能够供空中搬送车及搬送装置中的任一方交接物品的载置部，载置部能够从升降轨道的正下方退避。另外，也可以是，载置部以架设在一对其他载置部之间的方式配置，空中搬送车能够在与其他载置部之间交接物品。

发明效果

根据上述保管系统，由于第1空中轨道在俯视时从第2空中轨道偏离的部分具有能够支承着停止行进的吊车而下降的升降轨道，所以能够通过该升降轨道不与空中搬送车系统发生干涉地可靠且容易地进行吊车相对于第1空中轨道的搬出及搬入。