[发明专利]全氟化合物的减排方法

说明书

公开了一种减排方法。该方法包括：与燃烧反应物和稀释剂一起向减排装置的燃烧室供应含全氟化合物的排出物流；通过使所述燃烧反应物反应而加热所述燃烧室的燃烧区以实施将所述全氟化合物减排成稳定的副产物，选择所述稀释剂以在所述减排的过程中保持惰性。由此，在燃烧室中在燃烧反应物的燃烧过程中减少全氟化合物或其它化合物，但没有形成不期望的化合物，例如NOx或其它化合物。

发明领域

本发明领域涉及一种减排（abatement）方法。

背景

用于进行减排的减排装置是已知的并通常用于处理来自例如半导体或平板显示器制造工业中所用的制造加工工具的排出气体物流。在这样的制造过程中，在从加工工具泵送的排出气体物流中存在残留全氟化合物（PFC）和其它化合物。PFC难以从排出气体中除去并且它们释放到环境中是不合意的，因为已知它们具有相对较高的温室活性。

已知的减排装置利用燃烧从排出气体物流中除去PFC和其它化合物。通常，排出气体物流是含有PFC和其它化合物的氮气物流。将燃料气体与排出气体物流混合，并将该气体物流混合物输送到被多孔气体燃烧器（foraminous gas burner）的出口表面侧面包围的燃烧室。将燃料气体和空气同时供应到多孔燃烧器以在出口表面实现无焰燃烧，经过多孔燃烧器的空气量力求足以不仅消耗供应到燃烧器的燃料气体，还消耗注入到燃烧室中的气体物流混合物中的所有可燃物。

尽管存在用于处理排出气体物流的技术，但它们各自具有它们自身的缺点。因此，希望提供一种改进的用于处理排出气体物流的技术。

概述

根据第一方面，提供一种方法，其包括：与燃烧反应物和稀释剂一起向减排装置的燃烧室供应含全氟化合物的排出物流；通过使燃烧反应物反应而加热燃烧室的燃烧区以实施将全氟化合物减排成稳定的副产物，选择所述稀释剂以在减排过程中保持惰性。

第一方面认识到，一些化合物的减排问题在于在减排过程中存在的氮气可反应生成NOx或其它化合物，越来越希望在减排装置的排气中减少它们。

因此，提供一种方法。该方法可以是一种运行减排装置的方法。该方法可包括向燃烧或反应室供应或提供待处理的排出物流的步骤。排出物流可含有全氟化合物或其它化合物。也可向燃烧室供应用于进行或造成燃烧的反应物。也可向燃烧室提供稀释剂。该方法可包括通过使燃烧剂一起反应以进行燃烧而加热燃烧区或提高燃烧区的温度。该加热可减少全氟化合物或其它化合物以将这些化合物分解成所得副产物。稀释剂可在全氟化合物或其它化合物的减排过程中保持惰性或无反应性。由此，在燃烧室中在燃烧反应物的燃烧过程中减少全氟化合物或其它化合物，但没有形成不期望的化合物，例如NOx或其它化合物。

在一个实施方案中，选择稀释剂以在燃烧区中的减排过程中无变化或无反应性。相应地，稀释剂在燃烧过程中可无法反应并保持不变。

在一个实施方案中，加热将燃烧区的温度提高到高于大约1000℃。

在一个实施方案中，加热将燃烧区的温度提高到高于大约1300℃。

在一个实施方案中，减排装置包括用于将气体物流注入到燃烧室中的喷嘴，且所述供应包括向所述喷嘴供应排出物流。相应地，排出物流可与气体物流一起从喷嘴注入到燃烧室中。

在一个实施方案中，所述供应包括向所述喷嘴供应燃烧反应物和稀释剂。相应地，燃烧反应物和/或稀释剂也可通过所述喷嘴供应到燃烧室中。

在一个实施方案中，减排装置包括向所述喷嘴供料的泵，且所述供应包括作为泵吹扫气体供应稀释剂。相应地，也可作为向所述喷嘴供应排出物流的泵的吹扫气体提供稀释剂。