[发明专利]氟树脂成型品的制造方法和制造系统

说明书

提供一种经清洗的氟树脂成型品的制造方法，其包括：利用试剂清洗氟树脂成型品的工序；和利用水清洗氟树脂成型品的工序。

技术领域

本发明涉及氟树脂成型品的制造方法和制造系统。

背景技术

专利文献1中提出了一种氟树脂成型品的清洗方法，其为除去在半导体制造装置中使用的氟树脂成型品的表面附着的颗粒的清洗方法，该方法被用于使用包含氟取代溶剂的清洗剂进行清洗的半导体制造装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-40279号公报

发明内容

发明所要解决的课题

氟树脂成型品被用作输送为了制造半导体器件而使用的试剂的管等。伴随着近年来半导体器件的微细化，需要将由氟树脂成型品产生的颗粒数降低至以往未有的水平的技术。

本发明中，目的在于提供一种用于制造难以产生颗粒的氟树脂成型品的制造方法和制造系统。

用于解决课题的手段

根据本发明，提供一种经清洗的氟树脂成型品的制造方法，其包括：利用试剂清洗氟树脂成型品的工序；和利用水清洗氟树脂成型品的工序。

本发明的制造方法中，上述试剂优选为醇或醇水溶液。

本发明的制造方法中，上述试剂更优选是醇浓度为20质量％～100质量％的醇或醇水溶液。

本发明的制造方法中，上述试剂优选是pH为8以上的碱性水溶液。

本发明的制造方法中，上述试剂优选为氨水溶液。

本发明的制造方法中，利用试剂的清洗优选为流液清洗。

本发明的制造方法中，利用水的清洗优选为流水清洗。

本发明的制造方法中，上述氟树脂成型品优选含有四氟乙烯/全氟(烷基乙烯基醚)共聚物作为氟树脂。

本发明的制造方法中，上述氟树脂成型品优选为管。

本发明的制造方法优选还包括：从清洗中使用过的上述试剂中除去颗粒的工序；和将除去了颗粒后的上述试剂作为利用试剂进行清洗的工序中使用的试剂的至少一部分进行再利用的工序。

本发明的制造方法优选还包括：从清洗中使用过的上述水中除去颗粒的工序；和将除去了颗粒后的上述水作为利用水进行清洗的工序中使用的水的至少一部分进行再利用的工序。

另外，根据本发明，提供一种制造系统，其为制造经清洗的氟树脂成型品的制造系统，其具备：第1过滤单元，用于从试剂中除去颗粒；第2过滤单元，用于从水中除去颗粒；氟树脂成型品的清洗单元，从第1过滤单元供给试剂，从第2过滤单元供给水；切换单元，用于切换从第1过滤单元向清洗单元供给试剂和从第2过滤单元向清洗单元供给水；第1送回单元，用于将清洗中使用过的试剂从清洗单元返送到第1过滤单元；和第2送回单元，用于将清洗中使用过的水从清洗单元返送到第2过滤单元。

发明的效果

根据本发明，可以提供一种用于制造难以产生颗粒的氟树脂成型品的制造方法和制造系统。

附图说明

图1是示出本发明的制造系统的实施方式的一例的系统图。

图2是用于说明颗粒数的测定方法的图。

具体实施方式

以下，对本发明的具体实施方式进行详细说明，但本发明不限定于下述实施方式。