[发明专利]陶瓷加热器

权利要求书

1.一种陶瓷加热器，具备：

具有晶片载置面的陶瓷板；

线圈状的主电阻发热体，其在所述陶瓷板的内部与所述晶片载置面平行地设置，从一对主端子中的一方起按一笔画的要领进行布线后到达所述一对主端子中的另一方；以及

二维形状的副电阻发热体，其设置在所述陶瓷板的内部，对基于所述主电阻发热体的加热进行补充，

所述主电阻发热体形成为从所述一对主端子中的一方起在多个折回部折回并到达所述一对主端子中的另一方，

所述副电阻发热体设置在所述主电阻发热体的所述折回部彼此相对的部分。

2.根据权利要求1所述的陶瓷加热器，所述陶瓷板具有在上下方向上贯通的孔，所述副电阻发热体设置在所述孔的周围。

3.根据权利要求1或2所述的陶瓷加热器，所述副电阻发热体设置在所述主电阻发热体的布线彼此的间隔中。

4.根据权利要求1或2所述的陶瓷加热器，所述副电阻发热体与所述主电阻发热体形成并联电路。

5.根据权利要求1或2所述的陶瓷加热器，所述副电阻发热体从一对副端子中的一方起按一笔画的要领进行布线后到达所述一对副端子中的另一方。

6.根据权利要求1或2所述的陶瓷加热器，所述副电阻发热体含有陶瓷。

7.根据权利要求1或2所述的陶瓷加热器，所述副电阻发热体以将所述主电阻发热体的弯曲部桥接的方式设置，

所述弯曲部的线圈卷绕间距比所述弯曲部的外侧的线圈卷绕间距小。