[发明专利]转印材料、树脂图案的制造方法、电路配线的制造方法及触摸面板的制造方法

说明书

一种依次具有临时支承体、包含水溶性树脂的中间层及正型感光性树脂层，且上述中间层包含具有氟原子的表面活性剂的转印材料，以及使用上述转印材料的树脂图案的制造方法、电路配线的制造方法及触摸面板的制造方法。

技术领域

本发明涉及一种转印材料、树脂图案的制造方法、电路配线的制造方法及触摸面板的制造方法。

背景技术

在具备静电电容型输入装置等的触摸面板的显示装置(有机电致发光(EL)显示装置及液晶显示装置等)中，在触摸面板内部，设置有相当于视觉辨认部的传感器的电极图案、外围配线部分及引出配线部分的配线等的导电层图案。

通常，在图案化的层的形成中，用于获得所需的图案形状的工序数量少，因此广泛使用利用感光性转印材料，隔着具有所期望的图案的掩模，对设置在任意基板上的感光性树脂组合物的层进行曝光之后再进行显影的方法。

并且，作为以往的感光性树脂组合物或转印材料，已知有专利文献1或2中所记载的材料。

在专利文献1中，记载有一种感光性转印材料，其依次具有临时支承体、中间层及感光性树脂组合物层，上述感光性树脂组合物层含有具有包含被酸分解性基团保护的酸基的结构单元的聚合物和光产酸剂，上述中间层为水溶性或碱可溶性，且含有树脂C，所述树脂C包含具有不与酚性羟基或主链直接键合的醇羟基的结构单元。

在专利文献2中，记载有一种转印用层叠材料，其在临时支承体上具有至少一个转印层，剥离临时支承体时的剥离力的最大值在180°剥离法中为0.98～5.39mN/cm。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2018/179640号

专利文献2：日本特开2009-073022号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

本发明的一实施方式所要解决的课题在于提供一种被转印的面中的条纹少的转印材料。

并且，本发明的另一实施方式所要解决的课题为提供一种使用上述转印材料的树脂图案的制造方法、电路配线的制造方法及触摸面板的制造方法。

用于解决技术课题的手段

在用于解决上述课题的方案中包含以下方式。

1一种转印材料，其依次具有临时支承体、包含水溶性树脂的中间层及正型感光性树脂层，上述中间层包含具有氟原子的表面活性剂。

2根据1所述的转印材料，其中，上述表面活性剂包含分子量700以上的化合物。

3根据1或2所述的转印材料，其中，上述表面活性剂相对于25℃的水100g的溶解度为1g以上。

4根据1～3中的任一项所述的转印材料，其中，上述表面活性剂的含量相对于上述中间层的总质量为0.1质量％～1.0质量％。

5根据1～4中的任一项所述的转印材料，其中，上述表面活性剂为具有氟烷基和亚烷基氧基的表面活性剂。

6根据1～5中的任一项所述的转印材料，其中，上述表面活性剂为具有全氟烷基和聚亚烷基氧基的表面活性剂。

7根据1～6中的任一项所述的转印材料，其中，上述正型感光性树脂层中的聚合物成分的含量相对于上述正型感光性树脂层的总质量为75质量％以上。

8根据1～7中的任一项所述的转印材料，其中，上述正型感光性树脂层包含聚合物及光产酸剂，所述聚合物含有具有被酸分解性基团保护的酸基的结构单元。