[发明专利]转印材料、树脂图案的制造方法、电路配线的制造方法及触摸面板的制造方法

权利要求书

1.一种转印材料，其依次具有：

临时支承体；

包含水溶性树脂的中间层；及

正型感光性树脂层，

所述中间层包含具有氟原子的表面活性剂。

2.根据权利要求1所述的转印材料，其中，

所述表面活性剂包含分子量700以上的化合物。

3.根据权利要求1或2所述的转印材料，其中，

所述表面活性剂相对于25℃的水100g的溶解度为1g以上。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的转印材料，其中，

所述表面活性剂的含量相对于所述中间层的总质量为0.1质量％～1.0质量％。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的转印材料，其中，

所述表面活性剂为具有氟烷基和亚烷基氧基的表面活性剂。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的转印材料，其中，

所述表面活性剂为具有全氟烷基和聚亚烷基氧基的表面活性剂。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的转印材料，其中，

所述正型感光性树脂层中的聚合物成分的含量相对于所述正型感光性树脂层的总质量为75质量％以上。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的转印材料，其中，

所述正型感光性树脂层包含聚合物及光产酸剂，所述聚合物含有具有被酸分解性基团保护的酸基的结构单元。

9.根据权利要求8所述的转印材料，其中，

所述具有被酸分解性基团保护的酸基的结构单元为由下述式A1～式A3中的任意者表示的结构单元，

式A1中，R¹¹及R¹²分别独立地表示氢原子、烷基或芳基，至少R¹¹及R¹²中的任一个为烷基或芳基，R¹³表示烷基或芳基，任选地R¹¹或R¹²与R¹³连结而形成环状醚，R¹⁴表示氢原子或甲基，X¹表示单键或二价的连结基团，R¹⁵表示取代基，n表示0～4的整数，

式A2中，R²¹及R²²分别独立地表示氢原子、烷基或芳基，至少R²¹及R²²中的任一个为烷基或芳基，R²³表示烷基或芳基，任选地R²¹或R²²与R²³连结而形成环状醚，R²⁴分别独立地表示羟基、卤原子、烷基、烷氧基、烯基、芳基、芳烷基、烷氧基羰基、羟基烷基、芳基羰基、芳氧基羰基或环烷基，m表示0～3的整数，

式A3中，R³¹及R³²分别独立地表示氢原子、烷基或芳基，至少R³¹及R³²中的任一个为烷基或芳基，R³³表示烷基或芳基，任选地R³¹或R³²与R³³连结而形成环状醚，R³⁴表示氢原子或甲基，X⁰表示单键或二价的连结基团。

10.一种树脂图案的制造方法，其依次包括：

使相对于权利要求1～9中任一项所述的转印材料中的所述临时支承体具有正型感光性树脂层的一侧的最外层与基板接触而贴合的工序；

对上述正型感光性树脂层进行图案曝光的工序；及

对经曝光的上述正型感光性树脂层进行显影而形成树脂图案的工序。