[发明专利]具有对列通道的三维传感器

说明书

一种光学相位轮廓测定系统(1300)包括第一可操作同轴相机‑投影仪对(1302)和第二可操作同轴相机‑投影仪对(1304)，第一可操作同轴相机‑投影仪对被对准为相对于目标表面(1318)成第一角度，将第一照明投射在所述目标表面上；第二可操作同轴相机‑投影仪对被对准为相对于所述目标表面成第二角度，投射第二照明在目标表面上。第一角度和第二角度为相等且相对于目标表面为彼此相反，使得第二可操作同轴相机‑投影仪对(1304)被配置为捕捉来自第一照明的第一反射，且第一可操作同轴相机‑投影仪对(1302)被配置为捕捉来自第二照明的第二反射。光学相位轮廓测定系统(1300)还包括控制器(1356)，其被配置为：基于所捕捉的第一反射和第二反射产生目标表面(1318)的第一估计和第二估计，并结合第一估计和第二估计以产生目标表面(1318)的尺寸轮廓。

背景技术

取得关于表面或物体的精确尺寸信息对于许多行业及过程至关紧要。例如，在电子组装行业中，关于电路板上的电气部件的精确尺寸信息可以用于判断该部件是否被适当地放置。再者，尺寸信息也对于在部件安装之前对电路板上的焊锡沉积的检测很有用，以确保将适量的焊锡沉积在该电路板的适当位置。此外，尺寸信息也对于半导体晶圆和平面显示器的检测很有用。

光学相位轮廓测定系统已被利用来准确地测量和取得关于物体表面的精确尺寸信息。然而，某些新的电子组件包括具有反射镜面的部件。一般被配置成测量漫射的且非反射表面的传统系统难以对这类部件取得精确尺寸信息。另外，某些技术正在减少尺寸(例如电路板及其上的部件或装置)并且需要更高倍率和更高分辨率光学以取得准确的尺寸信息。传统光学测量系统因各种因素，如应用的尺寸和表面反射率的提高和改变，而遭遇各种测量误差。

随着这类部件的尺寸信息的精确度对于各种行业及过程变得愈来愈至关紧要，准确测量并取得这样的信息以及对于所测量的表面轮廓的测量误差的各种原因的校正变得愈来愈重要。

以上的讨论仅提供用于一般背景信息而非旨在用于帮助确定所要求保护的主题的范围。所要求保护的主题并不限于解决背景技术中所指出的任一或全部缺点的实现方式。

以上的讨论仅提供用于一般背景信息而非旨在用于帮助确定所要求保护的主题的范围。

发明内容

一种光学相位轮廓测定系统，包括：第一可操作同轴相机-投影仪对，所述第一可操作同轴相机-投影仪对被对准为相对于目标表面成第一角度，所述第一可操作同轴相机-投影仪对将第一照明投射在所述目标表面上；以及第二可操作同轴相机-投影仪对，所述第二可操作同轴相机-投影仪对被对准为相对于所述目标表面成第二角度，所述第二可操作同轴相机-投影仪对将第二照明投射在所述目标表面上。其中，所述第一角度和所述第二角度是彼此相等的并且相对于所述目标表面是彼此相对的，使得所述第二可操作同轴相机-投影仪对被配置为捕捉来自所述第一照明的第一反射，并且所述第一可操作同轴相机-投影仪对被配置为捕捉来自所述第二照明的第二反射。所述光学相位轮廓测定系统还包括控制器，所述控制器被配置为：基于所捕捉的第一反射和第二反射产生所述目标表面的第一估计和第二估计，并将所述第一估计和所述第二估计结合以产生所述目标表面的尺寸轮廓。

提供此发明内容以简化形式介绍精选概念，这些概念会在下面的实施方式中进一步描述。此发明内容的记载并非旨在识别所要求保护的主题的关键特征或必要特征，也不旨在用于帮助确定所要求保护的主题的范围。

附图说明

图1是示出典型的光学相位轮廓测定系统的一个示例的示意图。

图2A至图2B是示出示例性光学相位轮廓测定系统的示意图。

图2C至图2D是示出示例性光学检查环境的示意图。

图3A至图3B是示出示例性操作同轴的成像系统-照明源对的示意图。

图4A至图4B是示出示例性光学相位轮廓测定系统的示意图。

图5A至图5B是示出示例性光学相位轮廓测定系统的示意图。