[发明专利]用于环氧树脂粘结的内部加热的方法有效
| 申请号: | 201980065688.2 | 申请日: | 2019-09-11 |
| 公开(公告)号: | CN112805478B | 公开(公告)日: | 2023-08-22 |
| 发明(设计)人: | J·R·巴勒斯;B·杰格蒂亚;C·H·格里芬三世 | 申请(专利权)人: | ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号: | F16B11/00 | 分类号: | F16B11/00;B32B37/12 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 王益 |
| 地址: | 荷兰维*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 环氧树脂 粘结 内部 加热 方法 | ||
1.一种粘结设备,包括:
第一衬底;
第二衬底;
设置在所述第一衬底与第二衬底之间的粘结层,其中所述粘结层被配置成将所述第一衬底和第二衬底粘结在一起;以及
设置在所述第一衬底与第二衬底之间的加热元件,其中所述加热元件接触所述粘结层并且被配置成产生用于将所述第一衬底和第二衬底粘结在一起或使所述第一衬底和第二衬底脱粘分离开的局部电阻加热,
其中,所述加热元件包括作为嵌入于所述粘结层中的单个整体实体的框架和与所述框架集成一体的电阻丝;并且
其中,所述框架具有实质上均一的厚度并且被配置成设定所述粘结层的预定的粘结线厚,并且所述框架由所述粘结层定界并且部分地嵌入于所述粘结层中,且所述电阻丝由所述粘结层与所述第一衬底和所述第二衬底两者隔离。
2.根据权利要求1所述的粘结设备,其中,所述框架具有与所述粘结层的刚度、抗压强度、或热膨胀系数基本上相等的刚度、抗压强度、或热膨胀系数。
3.根据权利要求1所述的粘结设备,其中,所述电阻丝包括镍铬合金。
4.根据权利要求1所述的粘结设备,其中,所述电阻丝包括被配置成覆盖所述第一衬底与第二衬底之间的大部分粘结区域的单个预成型的电阻丝。
5.根据权利要求4所述的粘结设备,其中,所述单个预成型的电阻丝被布置呈蛇形、锯齿形、螺旋或线圈图案。
6.根据权利要求1所述的粘结设备,其中,所述框架包括被配置成使所述粘结层通风的凹槽。
7.根据权利要求1所述的粘结设备,其中,所述加热元件包括与所述粘结层集成一体的绝缘电阻丝。
8.根据权利要求1所述的粘结设备,其中,所述粘结层包括环氧树脂、弹性体材料、或热塑性材料。
9.根据权利要求1所述的粘结设备,其中,所述第一衬底是磁性的。
10.根据权利要求9所述的粘结设备,其中,所述局部电阻加热使得被传递至所述第一衬底的任何热小于40℃。
11.一种用于粘结或脱粘第一衬底和第二衬底的加热设备,包括:
框架;和
与所述框架集成一体的电阻丝,
其中,所述电阻丝被配置成在位于所述第一衬底与第二衬底之间的粘结层中产生局部电阻加热,
其中所述局部电阻加热使得被传递至所述第一衬底和第二衬底的任何热小于40℃,
其中,所述加热设备包括作为嵌入在粘结于所述第一衬底与第二衬底之间的粘结层中的单个整体实体的所述框架、和与所述框架集成一体的所述电阻丝;并且
其中,所述框架具有实质上均一的厚度并且被配置成设定所述粘结层的预定的粘结线厚,并且所述框架由所述粘结层定界并且部分地嵌入于所述粘结层中,且所述电阻丝由所述粘结层与所述第一衬底和所述第二衬底两者隔离。
12.根据权利要求11所述的加热设备,其中,所述框架具有实质上均一的厚度并且被配置成设定所述粘结层的预定的粘结线厚度。
13.根据权利要求11所述的加热设备,其中,所述框架具有与所述粘结层的刚度、抗压强度、或热膨胀系数基本上相等的刚度、抗压强度、或热膨胀系数。
14.根据权利要求11所述的加热设备,其中,所述框架包括被配置成使所述粘结层通风的凹槽。
15.根据权利要求11所述的加热设备,其中,所述框架包括塑料、热塑性材料、陶瓷或金属。
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