[发明专利]观察方法和观察装置

说明书

在本观察方法中，从光学相干断层成像仪获取测量对象在与深度方向相交的平面中的不同的多个位置处的测量值(S100)。在本观察方法中，在所述多个位置中的每个位置处，在所述深度方向上对所述测量值进行积分(S104)。在本观察方法中，在所述多个位置中的每个位置处，基于积分值来计算所述测量对象的收缩参数(S105)。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2018年9月19日向日本专利局递交的日本专利申请No.2018-175126的优先权，其公开内容通过引用整体并入本文中。

技术领域

本公开涉及一种观察方法和观察装置。

背景技术

陶瓷在诸如硬度、耐热性、耐腐蚀性和电气绝缘性等各种物理性质方面是极佳的。因此，为了实现在特定应用中要求的功能而制造的陶瓷结构正在被用于多种用途。

陶瓷结构是通过对原料执行诸如混合步骤、成型步骤、干燥步骤和烧制步骤等步骤制成的(参见专利文献1)。正在被制造的陶瓷结构在诸如干燥步骤和烧制步骤之类的步骤期间收缩。收缩后的结构被磨削以符合所要求的尺寸。收缩后的结构坚硬，磨削需要花费时间。因此，在成型步骤中的、收缩之前的结构(在下文中，被称为“成型体”)的尺寸被确定为使得该结构尽可能地接近在收缩之后所要求的尺寸。

制造工艺期间的收缩取决于诸如成型体的性质之类的因素而变化。因此，即使利用相同的混合，要确定的成型体的尺寸也随混合原料的每一批次而变化。在现有技术的成型步骤中，通过橡胶压力机等来成型中间成型体，通过检查中间成型体来估计收缩率，基于收缩率来确定成型体的尺寸，并且将中间成型体切削为与该成型体的尺寸相匹配的尺寸。中间成型体的检查花费相对较长的时间。因此，提取由同一批次混合的原料制成的中间成型体的一部分以检查该部分的中间成型体，并且将基于该检查而估计的收缩率作为同一批次的成型体的收缩率，以调整诸如切削量之类的切削条件。

引文列表

专利文献

专利文献1：日本专利公开No.2017-170869

发明内容

根据第一方面的观察方法包括：

从光学相干断层成像仪获取测量对象在与深度方向相交的平面中的不同的多个位置处的测量值；

在所述多个位置中的每个位置处，通过在所述深度方向上对所述测量值进行积分来计算积分值；以及

在所述多个位置中的每个位置处，基于所述积分值来计算所述测量对象的收缩参数。

此外，根据第二方面的观察装置包括：

控制器，所述控制器从光学相干断层成像仪获取测量对象在与深度方向相交的平面中的不同的多个位置处的测量值；在所述多个位置中的每个位置处，通过在所述深度方向上对所述测量值进行积分来计算积分值；以及在所述多个位置中的每个位置处，基于所述积分值来计算所述测量对象的收缩参数。

附图说明

在附图中：

图1是示出了包括根据实施例的观察装置在内的观察系统的示意性配置的功能框图；

图2是示出了图1中的光学相干断层成像仪的控制器计算出的测量值与深度方向之间的关系的示图；

图3是用于说明图1中的光学相干断层成像仪在多个位置处计算出的测量值的示图；

图4是用于说明图1中的观察装置的控制器如何使作为测量值的峰值的深度位置与参考位置对准的示图；

图5是用于说明图1中的观察装置的控制器如何通过在深度方向上对在多个位置处检测的测量值进行积分来计算积分值的示图；