[发明专利]用于高压连接的装置

说明书

一种适于用在高温高压环境的导管，该导管具有由第一难熔金属制成的伸长部分和由第二难熔金属制成的装配部分，装配部分附接到伸长部分的轴向端部。附接可以通过焊接来实现，并且第二难熔金属的屈服强度可以大于第一难熔金属。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2018年9月18日提交的美国申请62/732,845的优先权，其全部内容通过引用合并于此。

技术领域

本公开涉及如在极紫外辐射源中的目标材料的供应中在高压条件下运送材料的管线的连接。

背景技术

极端紫外线(“EUV”)光，例如，波长约为50nm或更短的电磁辐射(有时也称为软X射线)，包括波长约为13.5nm的光，其用于光刻工艺以在诸如硅晶片等衬底上产生极小的特征。即使可以理解，使用该术语描述的辐射可能不在光谱的可见部分，但仍在此处和本文中的其他地方使用术语“光”。

用于生成EUV光的方法包括将目标材料从液态转变成等离子体态。目标材料优选地包括至少一种元素，例如氙、锂或锡，并且具有在EUV范围内的一个或多个发射线。在通常被称为激光产生等离子体(“LPP”)的一种这样的方法中，可以通过使用激光束照射具有所需要的线发射元素的目标材料来产生所需要的等离子体。

目标材料可以采用多种形式中的一种。它可以是固体或熔融的。如果是熔融的，则可以以几种不同方式进行分配，诸如以连续流的方式或者作为液滴流的形式。作为示例，在随后的大部分讨论中，目标材料是熔融锡，其作为液滴流而分配。然而，本领域普通技术人员将理解，可以使用其他形式的材料和输送模式。

因此，一种LPP技术涉及生成目标材料液滴流并且在真空室内用激光脉冲照射至少一些液滴。从理论上讲，LPP光源通过将激光能量沉积到具有至少一个EUV发射元素的目标材料中来生成EUV辐射，从而产生电子温度为几十eV的高度电离的等离子体。

在这些离子的去激励和复合过程中生成的高能辐射在各个方向上从等离子体发射。在一种常见的布置中，放置近法向入射反射镜(通常称为“收集器反射镜”或简称为“收集器”)以将光收集、引导并且在一些布置中聚焦到中间位置。然后将所收集的光从中间位置中继到一组扫描仪光学元件，最后中继到衬底。

液滴流由目标材料分配器(诸如液滴生成器)生成。液滴生成器的释放液滴的部分(有时称为喷嘴或喷嘴组件)位于真空室内。液滴生成器喷嘴组件需要恒定的目标材料供应。该目标材料通常从被维持在目标材料储存器中的目标材料源提供。必须将目标材料从目标材料储存器转移到喷嘴组件。这可以使用受热的导管来完成，该导管在相对较高的压力下并且必须被维持在目标材料的熔点以上。导管可以由TaW(钽钨)制成，并且设置有由Mo(钼)制成的压缩配件。

导管的这种现有配置的寿命和功能是有限的。所描述的并且设置有压缩配件的受热的导管只能承受一次加热升温-冷却循环，并且仍然维持液密密封。同样，断开连接可能会导致密封端面出现划痕或磨损，这将限制由接头组件产生的密封的质量和寿命。磨损是由滑动表面之间的粘附引起的一种磨损形式。当材料磨损时，其中一些会被接触表面拉动，特别是在有大量力将表面压缩在一起的情况下。

因此需要一种具有更长寿命并且可以用于更多应用中的高压高温输送管道。

发明内容

以下给出了一个或多个实施例的简化概述，以便提供对实施例的基本理解。该概述不是所有预期实施例的详尽概述，并且无意于标识所有实施例的关键或重要元素，也不旨在界定任何或所有实施例的范围。其唯一目的是以简化的形式呈现一个或多个实施例的一些概念，作为稍后呈现的更详细描述的序言。