[发明专利]柔性装置用基板有效
申请号: | 201980059695.1 | 申请日: | 2019-08-29 |
公开(公告)号: | CN112771206B | 公开(公告)日: | 2023-09-05 |
发明(设计)人: | 南部光司;宫崎俊彦;升田裕久;下村洋司 | 申请(专利权)人: | 东洋制罐集团控股株式会社 |
主分类号: | C23C26/00 | 分类号: | C23C26/00;B32B15/08;C03C8/16;C23C8/14;H10K77/10;H05B33/02 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 装置 用基板 | ||
1.一种柔性装置用基板,其包括不锈钢基材、在所述不锈钢基材的表面上形成的氧化物膜、和在所述氧化物膜的表面上以层状形成的电绝缘性铋系玻璃的玻璃层,
所述氧化物膜的厚度为30nm以上,
在所述氧化物膜的厚度方向上与所述氧化物膜和所述玻璃层之间的界面相距20nm的点处的铬浓度为30原子%以上。
2.根据权利要求1所述的柔性装置用基板,其中所述氧化物膜的厚度为80nm以上。
3.根据权利要求1或2所述的柔性装置用基板,其中在所述氧化物膜的厚度方向上与所述氧化物膜和所述玻璃层之间的界面相距20nm的点处的铬浓度为50原子%以上。
4.根据权利要求1或2所述的柔性装置用基板,其中所述铋系玻璃包含Bi2O3、ZnO和B2O3。
5.一种不锈钢基材用于柔性装置用基板的用途,所述基板包括不锈钢基材、在所述不锈钢基材的表面上形成的氧化物膜、和在所述氧化物膜的表面上以层状形成的电绝缘性铋系玻璃的玻璃层,
其中所述氧化物膜的厚度为30nm以上,
所述氧化物膜包含从所述不锈钢基材扩散的铁、铬和其它添加元素的氧化物,
在所述氧化物膜的厚度方向上与所述氧化物膜和所述玻璃层之间的界面相距20nm的点处的铬浓度为30原子%以上。
6.根据权利要求5所述的用途,其中所述氧化物膜的厚度为80nm以上。
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