[发明专利]等离子体聚合设备

权利要求书

1.一种等离子体聚合设备，所述等离子体聚合设备包括：

反应区；

至少一个气体入口，用于将呈气体形式的至少一种单体供应到所述反应区；

第一电极和第二电极，所述第一电极与所述第二电极间隔开并且被配置为在所述反应区中产生电场，以由所述至少一种单体形成等离子体聚合物纳米颗粒材料；

多个收集器，所述多个收集器被配置为收集在所述反应区中形成的等离子体聚合物纳米颗粒材料，所述多个收集器邻近所述第二电极定位，并且每一收集器限定凹部以收纳在所述反应区中形成的所述等离子体聚合物纳米颗粒材料；

冷却装置，所述冷却装置邻近所述第二电极定位并且被配置为冷却所述多个收集器；和

限制栅，所述限制栅用于限制所述反应区中的电场，所述限制栅在第一电极与第二电极之间延伸，所述限制栅包括具有多个开口的网，所述限制栅具有管状或部分管状结构，和所述限制栅的最大宽度与第一电极和/或第二电极的最大宽度基本相同。

2.如权利要求1所述的设备，其中所述冷却装置位于所述多个收集器与所述第二电极之间。

3.如权利要求1所述的设备，其中所述冷却装置包括一个或多个热电半导体装置。

4.如权利要求3所述的设备，其中所述冷却装置包括一个或多个珀耳帖装置。

5.如前述权利要求1-4中任一项所述的设备，其中所述冷却装置联接到所述多个收集器的后表面。

6.如前述权利要求1所述的设备，其中所述多个收集器包括多个小瓶或孔。

7.如权利要求6所述的设备，所述设备包括至少12个小瓶或孔。

8.如权利要求6或7所述的设备，其中所述多个收集器由孔板提供。

9.如前述权利要求1-4中任一项所述的设备，其中所述多个收集器能够从所述反应区移除。

10.如前述权利要求1-4中任一项所述的设备，其中所述冷却装置联接到热交换器。

11.如权利要求10所述的设备，其中所述热交换器包括散热器，所述散热器包括多个翅片。

12.如权利要求10所述的设备，其中所述热交换器包括冷却回路，热传递流体流过所述冷却回路。

13.如权利要求10所述的设备，其中所述热交换器包括多个热交换管。

14.如权利要求10所述的设备，其中所述热交换器的至少一部分从所述设备突出以馈送到真空室外部。

15.如权利要求10所述的设备，所述设备包括被配置为冷却所述热交换器的风扇。

16.如权利要求14所述的设备，所述设备包括被配置为冷却所述热交换器的所述突出部分的风扇。

17.如权利要求1所述的设备，其中所述限制栅的开口中每一个的最大尺寸在50μm与5mm之间。

18.如权利要求1所述的设备，其中所述限制栅的开口中每一个是基本上圆形、正方形、椭圆形、矩形、三角形、五边形或六边形。

19.如权利要求17或18所述的设备，其中所述限制栅的结构具有基本上圆形、正方形、椭圆形、矩形、三角形、五边形或六边形的截面。

20.如前述权利要求1所述的设备，所述设备还包括控制器以控制在所述反应区中所述等离子体聚合物纳米颗粒材料的形成。