[发明专利]谐振子和具备谐振子的谐振装置

说明书

谐振子(10)具备：基部(130)；和至少三个振动臂(121A～D)，其一端是与基部(130)的前端部(131A)连接的固定端，另一端是离开前端部(131A)设置的自由端，至少三个振动臂(121A～D)中各振动臂具有：臂部(123A～D)，其具有沿着从固定端朝向自由端的方向以相同宽度延伸的部分；和质量附加部(122A～D)，其与臂部(123A～D)的末端连接，且比臂部(123A～D)宽度大，在相邻且相互反相振动的任两个振动臂(121A、121B)中，质量附加部(122A、122B)彼此的间隔(PT12)大于臂部(123A、123B)彼此的间隔(PT13)。

技术领域

本发明涉及谐振子和具备谐振子的谐振装置。

背景技术

在智能手机等电子设备，例如作为定时设备，装入有作为MEMS(Micro ElectroMechanical Systems：微机电系统)之一种的谐振装置。这样的谐振装置例如具备：下盖；在自身与下盖之间形成腔体的上盖；以及配置于下盖和上盖之间的腔体内的谐振子。谐振子例如具备：压电膜；隔着压电膜设置的上部电极和下部电极；以及设置于层间或者表面的绝缘膜。

作为这样的谐振子的具体结构，例如，专利文献1公开一种谐振子，具备：第1电极和第2电极；设置于第1电极与第2电极之间的压电膜；由设置在第1电极上的绝缘体构成的保护膜；以及由设置在保护膜上的导电体构成的导电膜，导电膜与第1电极和第2电极中任一者电连接。

另外，专利文献2公开一种谐振子，为具有从基部延出且以面内屈曲振动模式振动的一对振动臂的音叉型谐振子，振动臂由与基部结合的规定宽度的臂部和设置于臂部的末端部的宽度大的质量附加部构成，质量附加部具有仅在与另一个振动臂相反侧的宽度方向上从臂部的侧面突出的部分。

并且，专利文献3公开一种谐振子，其具备从基部起并行延伸的内侧振动臂和外侧振动臂，各振动臂具有与基部连接的固定端和形成有质量附加部的自由端，在邻接的外侧振动臂和内侧振动臂中，相互对置的侧面为平面状，与相互对置的侧面相反侧的侧面在质量附加部处突出。

专利文献1：国际公开第2017/208568号

专利文献2:日本特许第5509647号公报

专利文献3:国际公开第2017/047207号

以往，在谐振子中，公知存在如下情况：在由于离子束溅射、热电效应等而使表面或者层间的绝缘体、导电体带电时，通过库仑力对谐振子作用引力或者斥力，谐振频率变动。这样的因库仑力产生的影响在相互邻接且反相振动的振动臂的结构中较为显著。

在这一方面，在专利文献1记载的谐振子中，能够使导电膜所带电的电荷以一定程度逸出，但存在设置导电膜的区域受到限制这种情况，从而存在无法充分排除库仑力的影响这种情况。另外，在专利文献2和3所记载的谐振子中，没有格外考虑因绝缘膜、绝缘的导电膜所带电的电荷产生的库仑力的影响。

发明内容

本发明是鉴于这样的状况而完成的，目的在于提供不有损机械强度且能够抑制谐振频率的变动的谐振子和具备它的谐振装置。

本发明的一方式所涉及的谐振子具备：基部；和至少三个振动臂，其具有压电膜及之间隔着压电膜而对置设置的上部电极和下部电极，且一端是与基部的前端部连接的固定端，另一端是离开前端部设置的自由端，至少三个振动臂中各振动臂具有：臂部，其具有沿着从固定端朝向自由端的方向以相同宽度延伸的部分；和质量附加部，其与臂部的末端连接，且宽度比臂部大，在至少三个振动臂中相邻且相互反相振动的任两个振动臂中，质量附加部彼此的间隔大于臂部彼此的间隔。

根据本发明，能够提供不有损机械强度且能够抑制谐振频率的变动的谐振子和具备它的谐振装置。

附图说明

图1是概略地示出本发明的第1实施方式所涉及的谐振装置的外观的立体图。