[发明专利]谐振子和具备谐振子的谐振装置

权利要求书

1.一种谐振子，其特征在于，具备：

基部；和

至少三个振动臂，其具有压电膜和之间隔着所述压电膜对置设置的上部电极和下部电极，且一端是与所述基部的前端部连接的固定端，另一端是离开所述前端部设置的自由端，

所述至少三个振动臂中各振动臂具有：臂部，其具有沿着从所述固定端朝向所述自由端的方向以相同宽度延伸的部分；和质量附加部，其与所述臂部的末端连接，且比所述臂部宽度大，

在所述至少三个振动臂中的相邻且相互反相振动的任两个振动臂中，所述质量附加部彼此的间隔大于所述臂部彼此的间隔。

2.根据权利要求1所述的谐振子，其特征在于，

所述至少三个振动臂由配置于外侧的两个外侧振动臂和配置于内侧的一个或者两个内侧振动臂构成，且构成为所述外侧振动臂和所述内侧振动臂相互反相振动。

3.根据权利要求2所述的谐振子，其特征在于，

所述外侧振动臂的所述质量附加部相对于所述外侧振动臂的所述臂部的中心，在与所述振动臂延伸的方向交叉的方向上向离开所述内侧振动臂的方向偏移。

4.根据权利要求2或3所述的谐振子，其特征在于，

所述内侧振动臂的所述质量附加部相对于所述内侧振动臂的所述臂部的中心，在与所述振动臂延伸的方向交叉的方向上向离开所述外侧振动臂的方向偏移。

5.一种谐振装置，其特征在于，具备：

权利要求1～4中任一项所述的谐振子；

下盖，其与所述谐振子接合；以及

上盖，其隔着所述谐振子而与所述下盖接合，且在所述上盖与所述下盖之间形成供所述至少三个振动臂振动的振动空间。