[发明专利]微粒子的制造装置及微粒子的制造方法

权利要求书

1.一种微粒子的制造装置，其特征在于，该微粒子的制造装置具有：

原料供给部，将制造微粒子用的原料供给到热等离子体焰中；

等离子体炬，在其内部产生所述热等离子体焰，通过所述热等离子体焰将所述原料供给部所供给的所述原料予以蒸发而成为气相状态的混合物；

等离子体产生部，用来使所述等离子体炬的内部产生所述热等离子体焰：以及

气体供给部，将急速冷却用气体供给到所述热等离子体焰；其中，

所述等离子体产生部产生温度状态实施过时间调变的调变感应热等离子体焰来作为所述热等离子体焰，并使所述调变感应热等离子体焰周期性地变成高温状态和比所述高温状态温度更低的低温状态；

所述气体供给部对所述急速冷却用气体的供给量实施时间调变来进行供给，当所述调变感应热等离子体焰处于所述低温状态时，增多所述急速冷却用气体的供给量。

2.根据权利要求1所述的微粒子的制造装置，其特征在于，所述原料供给部对送往所述热等离子体焰中的所述原料的供给量实施时间调变，然后将所述原料供给到所述热等离子体焰中。

3.根据权利要求1所述的微粒子的制造装置，其特征在于，当所述调变感应热等离子体焰处于所述高温状态时，所述原料供给部增多所述原料的供给量。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的微粒子的制造装置，其特征在于，所述原料供给部将所述原料以分散成粒子状的状态供给到所述热等离子体焰中。

5.根据权利要求1至3中的任一项所述的微粒子的制造装置，其特征在于，所述原料供给部将所述原料分散于液体中作成浆液，再将所述浆液予以液滴化而供给到所述热等离子体焰中。

6.一种微粒子的制造方法，其特征在于，该制造方法具有：

将制造微粒子用的原料供给到热等离子体焰的第1工序；

以及利用所述热等离子体焰将所述原料予以蒸发成为气相状态的混合物，并将急速冷却用气体供给到所述热等离子体焰的第2工序，其中，

所述热等离子体焰为调变感应热等离子体焰，温度状态被实施时间调变而周期性地变成高温状态和比该高温状态温度更低的低温状态；

在所述第2工序中，对所述急速冷却用气体的供给量实施时间调变来进行供给，当所述调变感应热等离子体焰处于所述低温状态时，增多所述急速冷却用气体的供给量。

7.根据权利要求6所述的微粒子的制造方法，其特征在于，在所述第1工序，将送往所述热等离子体焰中的所述原料的供给量实施时间调变，然后供给到所述热等离子体焰中。

8.根据权利要求6所述的微粒子的制造方法，其特征在于，在所述第1工序，当所述调变感应热等离子体焰处于所述高温状态时，增多所述原料的供给量。

9.根据权利要求6至8中的任一项所述的微粒子的制造方法，其特征在于，在所述第1工序，将所述原料以分散成粒子状的状态供给到所述热等离子体焰中。

10.根据权利要求6至8中的任一项所述的微粒子的制造方法，其特征在于，在所述第1工序，将所述原料分散于液体中作成浆液，再将所述浆液予以液滴化而供给到所述热等离子体焰中。