[发明专利]匹配光瞳确定

权利要求书

1.一种用于减少设备性能变化的方法，所述方法包括：

获得(i)参考设备的参考性能、(ii)从被选择用以再现所述参考性能的设备的多个光瞳琢面反射镜的多个自由度中所选择的一组初始引导自由度、以及(iii)与所述图案化过程的基于所述一组初始引导自由度来指示所述设备的性能的一个或更多个参数有关的曝光数据；和

由计算机系统基于所述一组初始引导自由度和所述曝光数据来确定所述设备的匹配光瞳，使得所述匹配光瞳减少所述设备的性能与所述参考性能之间的差异。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述匹配光瞳是与所述一组初始引导自由度相对应的所述多个光瞳琢面反射镜的子集和/或整个集合。

3.根据权利要求1所述的方法，其中确定所述匹配光瞳是迭代过程，迭代包括：

基于所述设备的性能与所述参考性能之间的差异来改变所述多个光瞳琢面反射镜的所述一组引导自由度中的一个或更多个自由度；

根据与改变后的光瞳琢面反射镜相对应的所述曝光数据来获得当前性能；和

确定所述当前性能与所述参考性能之间的当前差异。

4.根据权利要求3所述的方法，其中改变一个或更多个自由度包括：与所述一组引导自由度相对应的一个或更多个反射镜的方向和/或强度的改变。

5.根据权利要求1所述的方法，其中基于用于再现所述参考性能的所述设备的所述多个光瞳琢面反射镜的自由度中的每个自由度的灵敏度来选择所述一组初始引导自由度。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述一组初始引导自由度是用于再现所述参考性能的所述设备的所述多个光瞳琢面反射镜的所述多个自由度的子集和/或整个集合。

7.根据权利要求1所述的方法，其中针对所述一组初始引导自由度的线性组合来获得所述曝光数据。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述参考性能是所述参考设备的与所述设备不同的性能。

9.根据权利要求1所述的方法，其中所述参考性能是在所述图案化过程的特定时间处确定的所述设备的性能。

10.根据权利要求1所述的方法，其中所述设备的性能和所述参考设备的所述参考性能与所述图案化过程的包括临界尺寸和/或重叠的参数有关。

11.根据权利要求1所述的方法，其中所述匹配光瞳使所述设备的性能与所述参考性能之间的差异最小化。

12.根据权利要求1所述的方法，还包括：基于所述图案化过程的所述设备的所述匹配光瞳来调整所述设备的性能。

13.根据权利要求12所述的方法，其中所述图案化过程的所述设备是光刻设备。

14.一种计算机程序产品，包括其上记录有指令的计算机可读介质，所述指令在由计算机执行时实施根据权利要求1至13所述的方法。