[发明专利]致动器

说明书

在致动器中，控制施加于轴以及工件的载荷。具备：支承部，其将轴支承为能够旋转；直动马达，其使轴沿中心轴线的方向移动；连接构件，其是将直动马达的动子与支承部连接的构件的至少一部分；应变计，其对连接构件的应变进行检测；以及控制装置，其基于由应变计检测出的应变来控制直动马达。

技术领域

本发明涉及致动器。

背景技术

通过在将中空的轴按压于工件的状态下使轴内为负压，能够将工件吸附于轴并将工件拾起。在此，在将工件吸附于轴时，当在工件与轴之间存在间隙时，存在工件与轴猛烈地碰撞而使工件破损的风险、不能吸附工件的风险。另一方面，当按压工件的载荷过大时，工件有可能破损。因此，期望将轴以适当的载荷按压于工件。另外，若轴与工件相接触时轴的速度高，则有可能由于轴与工件碰撞而使工件破损，因此期望缓和该冲击。以往，在轴主体的前端经由弹簧等缓冲构件而设置有吸附构件(例如，参照专利文献1。)。即，在吸附构件与工件相接触时，通过弹簧收缩而缓和冲击。之后，在轴进一步朝向工件移动时，以与弹簧常量相应的载荷按压工件。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-164347号公报

发明内容

发明要解决的课题

存在根据工件而适当的载荷不同的情况，但在设置有上述那样的缓冲构件的情况下，由于施加于工件的载荷由弹簧常量决定，因此难以根据工件来变更施加于工件的载荷。在用这样的结构调整施加于工件的载荷的情况下，例如需要更换缓冲构件。另外，在设置有上述那样的缓冲构件的情况下，施加于工件的载荷容易产生偏差，因此难以用于需要以高的精度调整载荷的工件。在此，若能够检测施加于轴以及工件的载荷，则能够根据检测出的载荷来控制轴。

本发明是鉴于上述那样的各种实际情况而完成的，其目的在于在致动器中控制施加于轴以及工件的载荷。

用于解决课题的方案

本发明的方案之一是致动器，其具备：轴；支承部，其将所述轴支承为能够旋转；直动马达，其具有定子以及动子，且通过使所述动子与所述轴的中心轴线平行地相对于所述直动马达的所述定子移动，从而使所述支承部以及所述轴沿所述轴的所述中心轴线的方向移动；连接构件，其是将所述直动马达的所述动子与所述支承部连接的构件的至少一部分；应变计，其设置于所述连接构件，且对所述连接构件的应变进行检测；以及控制装置，其基于由所述应变计检测出的所述应变，来控制所述直动马达。

发明效果

根据本发明，能够在致动器中控制施加于轴以及工件的载荷。

附图说明

图1是实施方式的致动器的外观图。

图2是示出实施方式的致动器的内部结构的概要结构图。

图3是示出实施方式的轴外壳和轴的前端部的概要结构的剖视图。

图4是示出在对实施方式的旋转马达的输出轴进行支承的轴承设置有应变计的情况下的概要结构的图。

图5是示出在对实施方式的旋转马达的输出轴进行支承的轴承设置有应变计的情况下的概要结构的图。

图6是示出第一实施方式的拾起处理的流程的流程图。

图7是示出第一实施方式的放置处理的流程的流程图。

图8是示出第二实施方式的拾起处理的流程的流程图。

图9是示出第二实施方式的放置处理的流程的流程图。

图10是示出第三实施方式的拾起处理的流程的流程图。

具体实施方式