[发明专利]低温泵、低温泵系统及低温泵的再生方法

说明书

本发明的低温泵(10)具备低温板(60)及设置于低温板(60)并且能够吸附不凝性气体的吸附区域(64)。吸附区域(64)具备不燃性吸附材料，该不燃性吸附材料含有硅胶作为主要成分。低温泵(10)的再生方法具备如下步骤：向低温泵(10)供给吹扫气体；在低温板温度超过水的三相点温度之前停止向向低温泵(10)供给吹扫气体；在停止供给吹扫气体的同时，或者在停止供给之后，开始低温泵(10)的真空排气；使冷凝于低温泵(10)内的冰通过升华而气化；及根据低温泵(10)内的压力及压力上升率中的至少一个停止低温泵(10)的真空排气。

技术领域

本发明涉及一种低温泵、低温泵系统及低温泵的再生方法。

背景技术

低温泵是通过冷凝或吸附将气体分子捕捉于冷却至超低温的低温板而进行排气的真空泵。低温泵通常用于实现半导体电路制造工艺等中要求的清洁的真空环境。低温泵是所谓的气体捕集式真空泵，因此需要定期进行将捕捉到的气体向外部排出的再生。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016-191374号公报

专利文献2：日本特开平5-263760号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

本发明的一实施方式的示例性目的之一在于提供一种排出不凝性气体的新的低温泵。

用于解决技术课题的手段

根据本发明的一实施方式，低温泵具备低温板和设置于所述低温板并且能够吸附不凝性气体的吸附区域，所述吸附区域具备不燃性吸附材料，该不燃性吸附材料含有硅胶作为主要成分。

根据本发明的一实施方式，低温泵系统具备上述低温泵、至少一个其他低温泵、在低温泵和至少一个其他低温泵中共用的粗抽泵、及接收各低温泵的再生开始指令并使该低温泵开始再生的再生控制器。再生控制器，在低温泵的再生中接收到了至少一个其他低温泵的再生开始指令时，使至少一个其他低温泵的再生延迟到低温泵的再生完成以后开始。

根据本发明的一实施方式，低温泵具备：低温泵壳体；吸附低温板，配置于低温泵壳体内并具备亲水性吸附材料；压力传感器，生成表示低温泵壳体的内压的压力测定信号；粗抽阀，安装于低温泵壳体，并且用于将低温泵壳体连接于粗抽泵；第1压力上升率监视部，接收压力测定信号，并在粗抽阀开启的期间，根据压力测定信号将压力上升率与第1阈值进行比较；第2压力上升率监视部，接收压力测定信号，并且以第1压力上升率监视部判定压力上升率大于第1阈值作为条件，在粗抽阀开启的期间，根据压力测定信号将压力上升率与小于第1阈值的第2阈值进行比较；及粗抽阀驱动部，以第2压力上升率监视部判定压力上升率小于第2阈值作为条件之一而关闭粗抽阀。

本发明的另一实施方式为低温泵的再生方法。低温泵具有亲水性吸附材料。再生方法具备如下步骤：在低温泵进行真空排气时，将压力上升率与第1阈值进行比较；在低温泵进行真空排气时，以判定压力上升率大于第1阈值作为条件，将压力上升率与小于第1阈值的第2阈值进行比较；及以判定压力上升率小于第2阈值作为条件之一而停止低温泵的真空排气。

本发明的另一实施方式为低温泵的再生方法。低温泵具有亲水性吸附材料。再生方法具备如下步骤：向低温泵供给吹扫气体；在低温板温度超过水的三相点温度之前停止向低温泵供给吹扫气体；在停止供给吹扫气体的同时，或者在停止供给之后，开始低温泵的真空排气；使冷凝于低温泵内的冰通过升华而气化；及根据低温泵内的压力及压力上升率的至少一个停止低温泵的真空排气。

另外，以上构成要件的任意组合或在方法、装置、系统等之间相互替换本发明的构成要件或表达的方式也作为本发明的方式而有效。

发明效果

根据本发明，能够提供一种排出不凝性气体的新的低温泵。