[发明专利]光检测装置以及激光装置

说明书

本发明涉及一种光检测装置以及激光装置。具备：多个第一光纤(3)；光合并器(10)，其在一个端面连接各个第一光纤(3)的一个端面；第二光纤(5)，它的一个端面与光合并器(10)的另一个端面连接；第一光检测器(21)，其检测在至少一个第一光纤(3)中传播的光的强度；第二光检测器(22)，其检测在第二光纤(5)中传播的光的瑞利散射；以及计算部，其根据第一光检测器(21)的检测结果及第二光检测器(22)的检测结果来计算在第一光纤(3)或者第二光纤(5)中沿着规定的方向传播的光的强度。

技术领域

本发明涉及一种光检测装置以及具备该光检测装置的激光装置。

背景技术

光纤激光装置能够获得聚光性优良、功率密度高且光束点较小的光，因此可用于激光加工领域、医疗领域等各种领域。为了利用这种高效的激光装置实现良好的加工品质，需要准确地检测在光纤中传播的光的强度。

例如，下述专利文献1记载了一种光纤激光装置，其通过检测从光纤彼此之间的连接部漏出的光而来推定在光纤中传播的光的强度。另外，下述专利文献2记载了一种传感器单元，其通过检测在光纤中传播的光的瑞利散射来推定在光纤中传播的光的强度。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2012/073952号公报

专利文献2：国际公开第2014/035505号公报

发明内容

(一)要解决的技术问题

在上述专利文献1所记载的光纤激光装置中，利用来自光纤彼此之间的连接部的漏光，并且在该漏光被向光纤外取出时会产生热。这样的发热会随着在光纤中传播的光的能量升高而更加显著。因此，在上述专利文献1所记载的光纤激光装置中，随着在光纤中传播的光的能量升高，在检测器以及到检测器为止的路径中热的影响变大，具有如下倾向，即：检测结果与根据该检测结果推定的在光纤中传播的光的强度之间的关系失去线性。因此，难以准确地检测在光纤中传播的光的强度。

另外，在上述专利文献2所记载的传感器单元中，对在光纤中传播的光的瑞利散射进行检测，但是瑞利散射会全方位地产生，因此难以判别是在光纤中向哪个方向传播的光的瑞利散射。因此，就上述专利文献2所记载的传感器单元而言，难以高精度地检测在光纤中沿着规定的方向传播的光的强度。尤其是在金属加工等的高反射材料的加工中，能够产生向与激光的输出方向相反的方向传播的反射光，因此难以高精度地检测在光纤中沿着规定的方向传播的光的强度。

因此，本发明的目的在于，提供一种光检测装置以及具备该光检测装置的激光装置，其能够使对于在光纤中沿着规定的方向传播的光的强度进行检测的检测精度提高。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本发明的光检测装置的特征在于，具备：多个第一光纤；光合并器，其在一个端面连接各个所述第一光纤的一个端面；第二光纤，它的一个端面与所述光合并器的另一个端面连接；第一光检测器，其检测在至少一个所述第一光纤中传播的光的强度；第二光检测器，其检测在所述第二光纤中传播的光的瑞利散射；以及计算部，其根据所述第一光检测器的检测结果及所述第二光检测器的检测结果来计算在所述第一光纤或者所述第二光纤中沿着规定的方向传播的光的强度。