[发明专利]用于太阳能电池制造的激光辅助金属化工艺在审
| 申请号: | 201980024638.X | 申请日: | 2019-04-05 |
| 公开(公告)号: | CN111954935A | 公开(公告)日: | 2020-11-17 |
| 发明(设计)人: | 吕珮玄;本杰明·I·赫西亚;戴维·阿龙·伦道夫·巴尔克豪泽;刘易斯·C·阿布拉;乔治·G·科雷奥斯;鲍里斯·巴斯蒂安 | 申请(专利权)人: | 太阳能公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/02 |
| 代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 顾红霞;李赛 |
| 地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 太阳能电池 制造 激光 辅助 金属化 工艺 | ||
1.一种用于制造太阳能电池的方法,包括:
提供具有金属箔的太阳能电池,所述金属箔具有第一区域和第二区域,所述第一区域在多个导电接触结构处电连接至基板上的半导体区;
将载体片材定位在所述第二区域上方;
将所述载体片材结合至所述第二区域;以及
从所述基板去除所述载体片材,以选择性地去除所述金属箔的所述第二区域。
2.根据权利要求1所述的方法,其中所述结合包括选择性地熔化所述载体片材、选择性地熔焊所述载体片材、钎焊所述载体片材,或施加粘合剂。
3.根据权利要求1所述的方法,其中去除所述载体片材包括以机械方式去除所述载体片材。
4.根据权利要求1所述的方法,其中去除所述载体片材包括使用压缩空气、水射流来进行,或者通过利用真空来吸起所述载体片材。
5.根据权利要求1所述的方法,其中去除所述载体片材会撕裂所述金属箔,从而在所述第一区域上留下边缘特征。
6.根据权利要求1所述的方法,其中所述载体片材包括第二金属箔。
7.根据权利要求1所述的方法,其中所述载体片材包括聚合物。
8.一种制造太阳能电池的方法,所述方法包括:
在基板上方形成中间层,所述中间层具有使所述基板的部分露出的开口;
将金属箔定位在所述中间层中的所述开口上方;以及
将所述金属箔暴露于激光束,其中将所述金属箔暴露于所述激光束会形成多个导电接触结构,所述导电接触结构各自具有电连接至所述基板的露出部分的局部沉积的金属部分。
将载体片材定位在所述金属箔上方;
将所述载体片材结合至所述金属箔;以及
从所述基板去除所述载体片材以选择性地去除所述。
9.根据权利要求8所述的方法,其中所述结合包括选择性地熔化所述载体片材、选择性地熔焊所述载体片材、钎焊所述载体片材,或施加粘合剂。
10.根据权利要求8所述的方法,其中去除所述载体片材包括以机械方式去除所述载体片材。
11.根据权利要求10所述的方法,其中去除所述载体片材包括使用压缩空气、水射流来进行,或者通过利用真空来吸起所述载体片材。
12.根据权利要求8所述的方法,其中去除所述载体片材会撕裂所述金属箔,从而在所述第一区域上留下边缘特征。
13.根据权利要求9所述的方法,其中所述载体片材包括第二金属箔。
14.根据权利要求9所述的方法,其中所述载体片材包括聚合物。
15.一种用于制造太阳能电池的方法,包括:
将载体片材定位在具有金属箔的太阳能电池上方,所述金属箔具有第一区域和第二区域,所述第一区域在多个导电接触结构处电连接至基板上的半导体区;
将所述载体片材结合至所述第二区域;以及
以机械方式去除所述载体片材,包括拉起所述载体片材的一个或多个边缘以选择性地去除所述金属箔的所述第二区域。
16.根据权利要求15所述的方法,其中所述拉起包括夹紧所述载体片材的边缘以及在夹紧的同时从所述基板去除所述载体片材以选择性地去除所述金属箔的所述第二区域。
17.根据权利要求15所述的方法,其中所述结合包括选择性地熔化所述载体片材、选择性地熔焊所述载体片材、钎焊所述载体片材,或施加粘合剂。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





