[发明专利]具有单向转换器的表面声波器件

权利要求书

1.一种表面声波(surface acoustic wave，SAW)器件，其特征在于，包括：

压电层；

转换器，耦合到所述压电层，所述转换器包括多个电极，所述多个电极分别与相互平行且垂直于波传播方向的纵向轴对齐；

所述转换器的每个电极包括：

第一导电层，在所述波传播方向上具有第一厚度和第一宽度；所述第一导电层包括金属层；

第二导电层，具有与所述第一厚度相比可忽略不计的第二厚度；所述第二导电层包括所述第二厚度为3-10个原子层的石墨烯或硼苯；所述第一导电层和所述第二导电层相互电接触，以提供在所述波传播方向上电极的总宽度范围内的电传导，该总宽度大于所述第一导电层的所述第一宽度。

2.根据权利要求1所述的表面声波器件，其特征在于，所述电极具有实质上仅由所述第一导电层提供的质量。

3.根据权利要求1至2中任一项所述的表面声波器件，其特征在于，每个电极具有与所述电极的反射中心存在空间偏移的转换中心，其中，所述每个电极的所述转换中心与所述反射中心之间在所述波传播方向上的偏移等于所述表面声波 器件的工作波长的八分之一。

4.根据权利要求1至2中任一项所述的表面声波器件，其特征在于，所述第一导电层的所述第一宽度等于所述表面声波器件的工作波长的四分之一。

5.根据权利要求1至2中任一项所述的表面声波器件，其特征在于，所述第一导电层的所述第一宽度约等于0.2μm。

6.根据权利要求1至2中任一项所述的表面声波器件，其特征在于，在每个电极中，所述第一导电层与所述第二导电层至少部分重叠，所述第一导电层与所述第二导电层在所述波传播方向上存在空间偏移。

7.根据权利要求6所述的表面声波器件，其特征在于，所述第一导电层与所述第二导电层之间的所述偏移等于所述表面声波器件的工作波长的八分之一。

8.根据权利要求1至2中任一项所述的表面声波器件，其特征在于，还包括：

高声速层，在所述压电层的第一表面处耦合到所述压电层；

其中，所述转换器位于所述压电层和所述高声速层之间。

9.根据权利要求8所述的表面声波器件，其特征在于，还包括：

导电层，耦合到所述压电层的第二表面，所述第二表面与所述压电层的所述第一表面相对。

10.根据权利要求1至2中任一项所述的表面声波器件，其特征在于，还包括：

高声速层，在所述压电层的第一表面处耦合到所述压电层；

其中，所述转换器在所述压电层的第二表面处耦合到所述压电层，所述第二表面与所述压电层的所述第一表面相对。

11.根据权利要求10所述的表面声波器件，其特征在于，还包括：

导电层，耦合于所述压电层和所述高声速层之间，其中所述压电层和所述高声速层通过所述导电层相互耦合。

12.根据权利要求1至2中任一项所述的表面声波器件，其特征在于，包括两个转换器，包括输入转换器和输出转换器，所述输入转换器用于以工作波长生成SAW，所述SAW沿所述波传播方向向所述输出转换器传播；

其中，所述输入转换器的每个电极具有反射中心，所述反射中心在所述波传播方向上与所述电极的转换中心在空间上偏移所述工作波长的八分之一；

所述输出转换器的每个电极具有反射中心，所述反射中心在与所述波传播方向相反的方向上与所述电极的转换中心在空间上偏移所述工作波长的八分之一。