[发明专利]臼体及研磨装置

权利要求书

1.一种臼体，其中，具备第一臼部和第二臼部，

该第一臼部能够穿插驱动轴，且可以以穿插该驱动轴的方向为中心旋转，且在表面上形成了多个第一凹部及多个第一凸部，

该第二臼部形成了可配置该第一臼部的空间，且在与该空间相接并且在与前述第一臼部的旋转方向相同的方向延伸的内侧面上形成了多个第二凹部及多个第二凸部，且该第二凹部和该第二凸部在相对于与前述第一臼部的旋转方向相同的方向交叉的方向从该内侧面的缘部延伸，且在相对于穿插前述驱动轴的方向大致正交的方向延伸的平面中的位于该缘部的该第二凹部的一方的端部的面积比在相对于穿插该驱动轴的方向大致正交的方向延伸的平面中的该第二凹部延伸的方向的与该第二凹部的一方的端部相反侧的另一方的端部的面积小，且在相对于穿插该驱动轴的方向大致正交的方向延伸的平面中的相互邻接的该第二凹部的一方的端部彼此的面积相互大致相同，

在相对于穿插前述驱动轴的方向大致正交的方向延伸的平面中的相互邻接的前述第二凹部的另一方的端部彼此的面积相互不同，

将前述第二凹部的底部和与该第二凹部邻接的一方的前述第二凸部的顶部连结的面的相对于前述第二臼部的前述内侧面的角度，即凸部角度，也就是在该第二凹部的前述一方的端部中的邻接的第二凸部彼此的该凸部角度相互大致相同，且在该第二凹部的前述另一方的端部中的邻接的第二凸部彼此的该凸部角度相互不同，

对于另一方的端部的面积最大的前述第二凹部而言的前述凸部角度最小。

2.如权利要求1所述的臼体，其中，

在前述第二臼部的前述内侧面上形成了多个第三凸部及多个第三凹部，且该第三凸部与前述第二凸部连接，

在前述第二凸部和前述第三凸部的连接部位设置了隆起的隆起部，

在相对于与前述第一臼部的旋转方向相同的方向大致正交的方向的前述第二臼部的截面形状是以前述隆起部为顶部的大致山形状。

3.如权利要求2所述的臼体，其中，

前述第一臼部的形状是大致圆锥台形状，且该第一臼部具有第一截面圆形部分和第二截面圆形部分，该第一截面圆形部分在相对于穿插前述驱动轴的方向大致正交的方向的截面形状是大致圆形，该第二截面圆形部分在相对于穿插前述驱动轴的方向大致正交的方向的截面形状是大致圆形，且具有比前述第一截面圆形部分的半径小的半径，

前述第二臼部的前述第二凸部及前述第二凹部面向前述第一臼部的前述第一截面圆形部分，

前述第二臼部的前述第三凸部及前述第三凹部面向前述第一臼部的前述第二截面圆形部分，

前述第二臼部的前述第二凸部及前述第二凹部和前述第一臼部的前述第一截面圆形部分之间的距离，比前述第二臼部的前述第三凸部及前述第三凹部和前述第一臼部的前述第二截面圆形部分之间的距离短。

4.一种研磨装置，其中，具备第一臼部、第二臼部和驱动轴，

该第一臼部能够穿插驱动轴，且可以以穿插该驱动轴的方向为中心旋转，且在表面上形成了多个第一凹部及多个第一凸部，

该第二臼部形成了可配置该第一臼部的空间，且在与该空间相接并且在与前述第一臼部的旋转方向相同的方向延伸的内侧面上形成了多个第二凹部及多个第二凸部，且该第二凹部和该第二凸部在相对于与前述第一臼部的旋转方向相同的方向交叉的方向从该内侧面的缘部延伸，且在相对于穿插前述驱动轴的方向大致正交的方向延伸的平面中的位于该缘部的该第二凹部的一方的端部的面积比在相对于穿插该驱动轴的方向大致正交的方向延伸的平面中的该第二凹部延伸的方向的与该第二凹部的一方的端部相反侧的另一方的端部的面积小，且在相对于穿插该驱动轴的方向大致正交的方向延伸的平面中的相互邻接的该第二凹部的一方的端部彼此的面积相互大致相同，

该驱动轴在一方向延伸，且被穿插在前述第一臼部，可安装在该第一臼部，且可以以延伸的方向为中心旋转，

在相对于穿插前述驱动轴的方向大致正交的方向延伸的平面中的相互邻接的前述第二凹部的另一方的端部彼此的面积相互不同，

将前述第二凹部的底部和与该第二凹部邻接的一方的前述第二凸部的顶部连结的面的相对于前述第二臼部的前述内侧面的角度，即凸部角度，也就是在该第二凹部的前述一方的端部中的邻接的第二凸部彼此的该凸部角度相互大致相同，且在该第二凹部的前述另一方的端部中的邻接的第二凸部彼此的该凸部角度相互不同，

对于另一方的端部的面积最大的前述第二凹部而言的前述凸部角度最小。