[实用新型]Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备

说明书

本实用新型涉及一种Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备，所属硅片干燥设备技术领域，包括硅片干燥组件，硅片干燥组件外侧设有空气烘干机，空气烘干机上端设有与硅片干燥组件上端相法兰式管路连通的抽气管，空气烘干机下端与硅片干燥组件侧端间设有进气管。硅片干燥组件包括硅片干燥箱体，硅片干燥箱体内设有硅片网格挂箱，硅片网格挂箱两侧下端均设有滚轮架，滚轮架内侧与硅片网格挂箱间均设有若干支撑滚轮，硅片网格挂箱与进气管间设有若干与进气管相连通的进气分管，硅片干燥箱体上端设有与抽气管相法兰式管路连通的出气管。具有结构简单、干燥效率高和运行稳定性好的特点。解决了硅片上水分残留的问题。提高产品品质，达到较好的清洁及干燥效果。

技术领域

本实用新型涉及硅片干燥设备技术领域，具体涉及一种Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备。

背景技术

在硅片的生产加工过程中，需要对硅片进行干燥，现有技术中的硅片干燥机大多使用热风干处理，由于硅片存在细小划痕、凹痕，会产生残留液体，及待干燥的硅片表面残留的液体水膜表面张力较大，上述现有技术中的硅片干燥机对硅片的干燥效率低。

现有技术中还有利用超声波信号除杂，但是超声波通常需要在液体环境中应用，在对硅片干燥时难以应用，因此需要一种高效的硅片干燥装置。由于硅片中残留液体膜的表面张力作用，干燥残留液体时，液体在干燥气体中的挥发程度较小，导致对硅片的干燥效率低。

发明内容

本实用新型主要解决现有技术中存在干燥效率低和运行稳定性差的不足，提供了一种Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备，其具有结构简单、干燥效率高和运行稳定性好的特点。解决了硅片上水分残留的问题。提高产品品质，达到较好的清洁及干燥效果。

本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：

一种Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备，包括硅片干燥组件，所述的硅片干燥组件外侧设有空气烘干机，所述的空气烘干机上端设有抽气管，所述的抽气管与硅片干燥组件上端相法兰式管路连通，所述的空气烘干机下端与硅片干燥组件侧端间设有进气管。所述的硅片干燥组件包括硅片干燥箱体，所述的硅片干燥箱体内设有硅片网格挂箱，所述的硅片网格挂箱与硅片干燥箱体相活动式抽拉，所述的硅片网格挂箱两侧下端均设有滚轮架，所述的滚轮架内侧与硅片网格挂箱间均设有若干支撑滚轮，所述的滚轮架上端与硅片网格挂箱间均设有若干导向限位拨杆，所述的导向限位拨杆与滚轮架相扭簧式限位嵌套，所述的硅片网格挂箱与进气管间设有若干与进气管相连通的进气分管，所述的进气分管与进气管间设有过渡支撑气管，所述的硅片干燥箱体上端设有出气管，所述的出气管与抽气管相法兰式管路连通。

作为优选，所述的硅片网格挂箱包括挂箱框架，所述的挂箱框架内设有若干呈等间距的隔板，两相邻的隔板间均设有网格挂袋，所述的网格挂袋与隔板相螺丝紧固且呈弧形结构。

作为优选，所述的挂箱框架一端设有拉把手。

作为优选，所述的进气分管上设有若干呈等间距分布的喷嘴。

作为优选，所述的出气管下端设有横截面呈三角形的吸气斗。

作为优选，所述的抽气管上设有风机，所述的风机与抽气管相法兰式螺栓连接。

作为优选，所述的硅片干燥组件端面设有仓门，所述的仓门与硅片干燥组件相合页式连接。

作为优选，所述的硅片干燥组件下端设有集水箱，所述的集水箱与硅片干燥组件相连通式法兰连接固定。

作为优选，所述的空气烘干机侧边设有水汽外排机，所述的水汽外排机与空气烘干机相连通。

本实用新型能够达到如下效果：