[实用新型]Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备

权利要求书

1.一种Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备，其特征在于：包括硅片干燥组件（1），所述的硅片干燥组件（1）外侧设有空气烘干机（6），所述的空气烘干机（6）上端设有抽气管（3），所述的抽气管（3）与硅片干燥组件（1）上端相法兰式管路连通，所述的空气烘干机（6）下端与硅片干燥组件（1）侧端间设有进气管（7）；所述的硅片干燥组件（1）包括硅片干燥箱体（9），所述的硅片干燥箱体（9）内设有硅片网格挂箱（12），所述的硅片网格挂箱（12）与硅片干燥箱体（9）相活动式抽拉，所述的硅片网格挂箱（12）两侧下端均设有滚轮架（17），所述的滚轮架（17）内侧与硅片网格挂箱（12）间均设有若干支撑滚轮（18），所述的滚轮架（17）上端与硅片网格挂箱（12）间均设有若干导向限位拨杆（16），所述的导向限位拨杆（16）与滚轮架（17）相扭簧式限位嵌套，所述的硅片网格挂箱（12）与进气管（7）间设有若干与进气管（7）相连通的进气分管（14），所述的进气分管（14）与进气管（7）间设有过渡支撑气管（15），所述的硅片干燥箱体（9）上端设有出气管（11），所述的出气管（11）与抽气管（3）相法兰式管路连通。

2.根据权利要求1所述的Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备，其特征在于：所述的硅片网格挂箱（12）包括挂箱框架（19），所述的挂箱框架（19）内设有若干呈等间距的隔板（21），两相邻的隔板（21）间均设有网格挂袋（20），所述的网格挂袋（20）与隔板（21）相螺丝紧固且呈弧形结构。

3.根据权利要求2所述的Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备，其特征在于：所述的挂箱框架（19）一端设有拉把手（22）。

4.根据权利要求1所述的Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备，其特征在于：所述的进气分管（14）上设有若干呈等间距分布的喷嘴（13）。

5.根据权利要求1所述的Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备，其特征在于：所述的出气管（11）下端设有横截面呈三角形的吸气斗（10）。

6.根据权利要求1所述的Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备，其特征在于：所述的抽气管（3）上设有风机（4），所述的风机（4）与抽气管（3）相法兰式螺栓连接。

7.根据权利要求1所述的Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备，其特征在于：所述的硅片干燥组件（1）端面设有仓门（2），所述的仓门（2）与硅片干燥组件（1）相合页式连接。

8.根据权利要求1所述的Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备，其特征在于：所述的硅片干燥组件（1）下端设有集水箱（5），所述的集水箱（5）与硅片干燥组件（1）相连通式法兰连接固定。

9.根据权利要求1所述的Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备，其特征在于：所述的空气烘干机（6）侧边设有水汽外排机（8），所述的水汽外排机（8）与空气烘干机（6）相连通。