[实用新型]一种磁控溅射镀膜机的溅射阴极结构

说明书

本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜机的溅射阴极结构，包括水冷背板和平面靶材，平面靶材安装在水冷背板上，平面靶材包括柔性黏连层、铜背板、粘结层和靶材，靶材由若干块子靶材拼接组成，铜背板由若干块子铜背板拼接组成，子靶材通过粘结层安装在子铜背板上，子铜背板通过柔性黏连层安装在水冷背板上。靶材与铜背板分切成若干段，每段重量适中，便于拿取安装以及运输与拆解。铜背板与水冷背板不直接接触，避免了金属间的硬性碰撞，水冷背板与铜背板通过对柔性层的挤压，接触的更为全面杜绝了缝隙的发生，导电导热效果更为有效，溅射工艺与成膜效果更为优越。通过铜背板的自身重量，配合柔性黏连层，克服因相互之间使用摩擦造成的缝隙。

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射领域，特别涉及一种磁控溅射镀膜机的溅射阴极结构。

背景技术

平面靶材通常是绑定在一块铜质的背板上，然后再安装到磁控溅射镀膜机溅射阴极上的。随着工艺要求，平面靶材加工的尺寸不断加大，一套铜制背板加上靶材质量甚至超过百斤，安装与拆卸极为不便。同时随着设备的老旧、铜背板的长期循环使用，铜背板与阴极冷却铜板之间已不能紧密贴合，影响了溅射工艺与成膜效果，以及溅射阴极的使用寿命。

中国专利CN 102420091 B一种复合式磁控溅射阴极，水冷背板紧密安装在平面靶材下方，可见，水冷背板在长期使用后，可能出现细微变形，无法与平面靶材紧密贴合。

实用新型内容

针对以上现有技术存在的缺陷，本实用新型的主要目的在于克服现有技术的不足之处，公开了一种磁控溅射镀膜机的溅射阴极结构，包括水冷背板和平面靶材，所述平面靶材安装在所述水冷背板上，所述平面靶材包括柔性黏连层、铜背板、粘结层和靶材，所述靶材由若干块子靶材拼接组成，所述铜背板由若干块子铜背板拼接组成，所述子靶材通过所述粘结层安装在所述子铜背板上，所述子铜背板通过柔性黏连层安装在所述水冷背板上。

进一步地，所述水冷背板包括冷却水层和导电铜板，所述导电铜板安装在所述冷却水层上。

进一步地，所述导电铜板的厚度小于1mm。

进一步地，所述柔性黏连层为0.1-.5mm的石墨烯纸。

进一步地，所述粘结层为0.1-0.5mm厚的高纯铟或者或者锡金属。

本实用新型取得的有益效果：

靶材与铜背板分切成若干段，每段重量适中，便于拿取安装以及后续的运输与拆解。铜背板与水冷背板不直接接触，避免了金属间的硬性碰撞，同时，水冷背板与铜背板通过对柔性层的挤压，接触的更为全面杜绝了缝隙的发生，导电导热效果更为有效，溅射工艺与成膜效果更为优越。通过铜背板的自身重量，配合柔性黏连层，克服因相互之间使用摩擦造成的缝隙。

附图说明

图1为本实用新型的一种磁控溅射镀膜机的溅射阴极结构的结构示意图；

附图标记如下：

1、水冷背板，2、平面靶材，11、冷却水层，12、导电铜板，21、柔性黏连层，22、铜背板，23、粘结层，24、靶材。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。