[实用新型]一种自动对位预压贴合机构有效
申请号: | 201922389415.3 | 申请日: | 2019-12-25 |
公开(公告)号: | CN211594221U | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
发明(设计)人: | 陈燕丽;刘毅 | 申请(专利权)人: | 深圳市精科达机电设备有限公司 |
主分类号: | B65G47/91 | 分类号: | B65G47/91 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518100 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 自动 对位 预压 贴合 机构 | ||
本实用新型公开了一种自动对位预压贴合机构,包括机架、X轴丝杆模组和Y轴丝杆模组;本实用新型在结构上设计合理,实用性很高,作时,在X轴伺服电机和X轴丝杆模组的作用下,方便进行前后调节,在Y轴伺服电机和Y轴丝杆模组的作用下,方便进行左右调节,在Z轴伺服电机、Z轴丝杆固定座和Z轴丝杆的作用下,方便进行上下移动,运转调节灵活方便,取料吸嘴配合产品真空台和放料吸附平台进行取放料,放料旋转气缸可放料吸附平台,一边放料,一边对位贴合,有效提高效率一至两倍,加自动对位上镜头调节机构和下镜头调节机构,配合自动对位平台,可自动拍照,自动校正,使得产品贴合精度高,效率更高。
技术领域
本实用新型涉及贴合机构技术领域,具体是一种自动对位预压贴合机构。
背景技术
在半导体封装技术中通常使用键合机实现微电子元件的连接,是指将两片表面清洁、原子级平整的同质或异质半导体材料经表面清洗和活化处理,两片平整的衬底,面对面贴合起来,施加一定的压力、温度、电压等外部条件,原有的两片衬底之间的界面会产生原子或分子间的结合力,如共价键、金属键或分子键,当达到一定程度后,两片衬底材料成为一个整体。
目前,现有的手工模具定位,定位精度差,贴合歪斜,效率低,导致贴合产品效率低。因此,本领域技术人员提供了一种自动对位预压贴合机构,以解决上述背景技术中提出的问题。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种自动对位预压贴合机构,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种自动对位预压贴合机构,包括机架、X轴丝杆模组和Y轴丝杆模组,所述机架上端左侧设置有X轴丝杆模组,所述X轴丝杆模组上端设置有Y轴丝杆模组,所述Y轴丝杆模组上端设置有设置有Z轴丝杆固定座,所述Z轴丝杆固定座上端设置有Z轴伺服电机,所述Z轴丝杆固定座下部设置有Z轴丝杆,所述Z轴丝杆右部上侧设置有上镜头调节机构,所述机架上端后侧设置有旋转气缸,所述旋转气缸上端连接有产品真空台,所述机架上端前侧设置有放料旋转气缸,所述放料旋转气缸左部连接有放料吸附平台。
作为本实用新型进一步的方案:所述机架下端左侧和右侧对称设置有若干万向轮和脚杯。
作为本实用新型再进一步的方案:所述X轴丝杆模组前端中部设置有X轴伺服电机。
作为本实用新型再进一步的方案:所述Y轴丝杆模组左端设置有Y轴伺服电机。
作为本实用新型再进一步的方案:所述Z轴丝杆右部下侧设置有旋转电机,所述旋转电机下部连接有取料吸嘴。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
本实用新型在结构上设计合理,实用性很高,作时,在X轴伺服电机和X轴丝杆模组的作用下,方便进行前后调节,在Y轴伺服电机和Y轴丝杆模组的作用下,方便进行左右调节,在Z轴伺服电机、Z轴丝杆固定座和Z轴丝杆的作用下,方便进行上下移动,运转调节灵活方便,取料吸嘴配合产品真空台和放料吸附平台进行取放料,放料旋转气缸可放料吸附平台,一边放料,一边对位贴合,有效提高效率一至两倍,加自动对位上镜头调节机构和下镜头调节机构,配合自动对位平台,可自动拍照,自动校正,使得产品贴合精度高,效率更高。
附图说明
图1为一种自动对位预压贴合机构的结构示意图。
图中:X轴伺服电机1、X轴丝杆模组2、Y轴伺服电机3、Y轴丝杆模组4、Z轴伺服电机5、Z轴丝杆固定座6、Z轴丝杆7、上镜头调节机构8、旋转电机9、取料吸嘴10、产品真空台11、旋转气缸12、下镜头调节机构13、机架14、放料旋转气缸15、放料吸附平台16。
具体实施方式
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