[实用新型]一种便于调节的真空镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种便于调节的真空镀膜机，包括底座和箱体，所述底座的内部嵌入安装有电磁加热器，所述箱体固定在底座的上端面，所述箱体的内部下端通过滑轨滑动安装有加热托盘，所述加热托盘的上端面固定有存料盒，所述箱体的内部顶端中间处通过吊杆吊装有盒体，所述盒体的下端面两侧均滑动安装有夹板，所述盒体的前端面固定有边壳，所述盒体的内部两侧均转动安装有丝杆，且丝杆的顶端贯穿盒体后位于边壳内，所述盒体内部两侧均滑动安装有滑块，且两个丝杆贯穿滑块的两端，所述边壳内丝杆上均固定有传动轮。本实用新型具备体积小，使用便捷和固定结构稳固，确保加工质量，且可调节，便于对不同大小的基片进行固定的优点。

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体为一种便于调节的真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

现有的蒸发式真空镀膜机使用较为不便，为了确保基片单面完整的镀膜一般采用夹持的方式对基片形成固定，但现有的固定结构无法有效的固定不同大小的基片，影响正常的使用，且在夹持过程中无法确保夹持的稳固，易造成脱落现象；现有的真空镀膜机体积大，操作不便，且成本高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种便于调节的真空镀膜机，具备体积小，使用便捷和固定结构稳固，确保加工质量，且可调节，便于对不同大小的基片进行固定的优点，解决现有设备体积大，不便使用和不便于调节，固定不稳固的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种便于调节的真空镀膜机，包括底座和箱体，所述底座的内部嵌入安装有电磁加热器，所述箱体固定在底座的上端面，所述箱体的内部下端通过滑轨滑动安装有加热托盘，所述加热托盘的上端面固定有存料盒，所述箱体的内部顶端中间处通过吊杆吊装有盒体，所述盒体的下端面两侧均滑动安装有夹板，所述盒体的前端面固定有边壳，所述盒体的内部两侧均转动安装有丝杆，且丝杆的顶端贯穿盒体后位于边壳内，所述盒体内部两侧均滑动安装有滑块，且两个丝杆贯穿滑块的两端，所述边壳内丝杆上均固定有传动轮，所述边壳的外侧中间处转动安装有旋钮，所述箱体的上端面固定有保护壳，所述箱体的开口处通过铰链转动安装有箱门。

优选的，所述底座的下端面固定有脚垫，所述脚垫共设有四个，且四个脚垫呈阵列分布，所述脚垫的下端套接有防滑套。

优选的，所述电磁加热器的上端加热口位于箱体内部底端，且加热口对应加热托盘，所述电磁加热器的前端面安装有控制面板。

优选的，所述丝杆的两端分别开设有正反两段螺纹，且两个滑块分别螺纹安装在两段相反螺纹上，且滑块的连接块穿过通槽后连接夹板。

优选的，所述旋钮的转轴贯穿连接边壳的内部，且转轴上固定有两个传动轮，且两个传动轮分别与丝杆上传动轮通过牵引绳传动连接。

优选的，所述保护壳的内部固定有真空排气泵，且真空排气泵的进气口通过单向出气管连接箱体的内部上端。

优选的，所述箱门背离铰链的一侧设有锁扣，所述箱门的中间处开口处嵌入安装有观测窗。