[实用新型]一种双波长激光干涉仪

说明书

本实用新型公开了一种双波长激光干涉仪，包括光源切换部件、第一激光光源、第二激光光源、棱镜、干涉图像分析部件、上干涉镜、样品平台和下干涉镜，所述光源切换部件下方连接第一激光光源和第二激光光源，并可以带动两个激光光源移动，第一激光光源和第二激光光源平行设置，两个激光光源下方从上至下依序设置棱镜、上干涉镜、样品平台和下干涉镜，干涉图像分析部件平行设于棱镜出光一侧。本实用新型双波长激光干涉仪，提供双波长激光干涉仪，可以切换两种波长的光源，集成度高，可以为用户节约设备体积和成本，可以方便更换激光器光源，便于后期升级。

技术领域

本实用新型涉及一种双波长激光干涉仪，属于光学测量技术领域。

背景技术

在工业生产中，有许多被光学元件面形需要测量，比如手机玻璃保护屏，一般使用激光干涉仪。由于材质不同需要不同波长测量，但市场上都是单波长激光干涉仪。此外，有些区域面积做了丝印小孔，留出较小的玻璃测量区域，需要小区域干涉仪测量，比如1mm直径；也有丝印红外油墨区域需要干涉仪测量，这种目视不能明显看到测量区域的，目前通过人工对位，对于大批量测量，效果速度慢。

实用新型内容

实用新型目的：本实用新型的主要目的是提供一种双波长激光干涉仪，其可以切换两种波长的光源，另外还可以带辅助投影光源，用于自动寻孔，实现快速定位测量区域。

技术方案：为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种双波长激光干涉仪，包括光源切换部件、第一激光光源、第二激光光源、棱镜、干涉图像分析部件、上干涉镜、样品平台和下干涉镜，所述光源切换部件下方连接第一激光光源和第二激光光源，并可以带动两个激光光源移动，第一激光光源和第二激光光源平行设置，两个激光光源下方从上至下依序设置棱镜、上干涉镜、样品平台和下干涉镜，干涉图像分析部件平行设于棱镜出光一侧。

作为一种改进，所述下干涉镜下方还设有辅助对孔光源。

所述干涉图像分析部件能够捕获从棱镜发射出的图像，并进行干涉图像分析。

第一激光光源和第二激光光源发出的光经透镜变成平行光，平行光穿过棱镜在上干涉镜和下干涉镜之间形成干涉光，干涉光穿过样品平台上的样品后干涉状态改变，干涉光在下干涉镜反射回来到达棱镜，经过90度转折进入干涉图像分析部件。干涉图像分析部件捕获图像后进行干涉图像分析。辅助对孔光源发出的光经过透镜变成平行光，穿过样品平台到达棱镜进入干涉图像分析部件，投影出现的轮廓图像可以用于定位测量区域，实现自动寻孔。

作为本实用新型的优选方案：

所述第一激光光源、第二激光光源均为发射单一光的激光器，优选半导体激光器。

所述光源切换部件可以通过手动切换，也可以由软件控制电机或者电磁铁切换。

所述棱镜可以采用具有半透效果的分光镜或棱镜。

所述辅助对孔光源由LED或者卤钨灯组成，光源开关由软件控制，发出光线穿过样品平台到达棱镜进入相机。

所述相机采用CCD或CMOS相机。

所述上干涉镜和下干涉镜由高精度参考平镜或球面镜构成。

有益效果：相对于现有技术，本实用新型双波长激光干涉仪，提供双波长激光干涉仪，其可以切换两种波长的光源，集成度高，可以为用户节约设备体积和成本，可以方便更换激光器光源，便于后期升级。

此外，还可以带辅助投影光源，用于自动寻孔，实现快速定位测量区域，包括隐藏IR油墨孔测量。测量速度快，数据重复性高、数据稳定可靠度高。

附图说明

图1：本实用新型双波长激光干涉仪结构示意图。

具体实施方式